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半導體輪廓儀有誰在用

來源: 發布時間:2022-05-06

輪廓儀的性能測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺:150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素:標配:1280×960視場范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統:同軸照明無限遠干涉成像系統光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,1σ臺階測量**準確度≤0.75%;重復性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD輪廓儀可用于:微結構均勻性 缺 陷,表面粗糙度。半導體輪廓儀有誰在用

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NanoX-8000系統主要性能?菜單式系統設置,一鍵式操作,自動數據存儲?一鍵式系統校準?支持連接MES系統,數據可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質量的優劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。上海輪廓儀可以試用嗎支持連接MES系統,數據可導入SPC。

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NanoX-80003D輪廓測量主要技術參數3D測量主要技術指標(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標配/500um選配)10mm精密電機拓展掃描CCD相機:1920x1200高速相機(標配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統:高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)傾斜調節:±5°電動調節橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關)3D測量主要技術指標(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準確度<1nmRMS重復性<0.01nm(1σ)臺階高重復性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準確度<1%重復性<0.1%(1σ,10um臺階高)

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存。

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輪廓儀對精密加工的意義現代化高新技術的飛速發展離不開硬件設施和軟件系統的配套支持,在精密加工領域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人和新器件、航空航天材料、**竣工設備等領域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數,其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數,作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用:輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。聯電輪廓儀摩擦學應用

輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。半導體輪廓儀有誰在用

   隨著時代的發展,輪廓儀也越來重要了,不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,金日就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出,也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀廣范用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業適用于研究機構、大學、計量機構和企業計量室。在汽車,摩托車和制冷行業,它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業中,內護套環的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數曲線;電機軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。半導體輪廓儀有誰在用

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