EVG ® 610曝光源:
汞光源/紫外線LED光源
楔形補償
全自動軟件控制
晶圓直徑(基板尺寸)
高達100/150/200毫米
曝光設定:
真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式
曝光選項:
間隔曝光/洪水曝光/扇區曝光
先進的對準功能:
手動對準/原位對準驗證
手動交叉校正
大間隙對準
EVG ® 610光刻機系統控制:
操作系統:Windows
文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數
多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR
實時遠程訪問,診斷和故障排除
使用的納米壓印光刻技術為“無紫外線” EVG所有光刻設備平臺均為300mm。廣西光刻機免稅價格
EVG620 NT特征2:
自動原點功能,用于對準鍵的精確居中
具有實時偏移校正功能的動態對準功能
支持**/新的UV-LED技術
返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統
自動化系統上的手動基板裝載功能
可以從半自動版本升級到全自動版本
**小化系統占地面積和設施要求
多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)
先進的軟件功能以及研發與全/面生產之間的兼容性
便捷處理和轉換重組
遠程技術支持和SECS / GEM兼容性
EVG620 NT附加功能:
鍵對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL) 化合物半導體光刻機試用EVG100光刻膠處理系統可以處理多種尺寸的基板,直徑從2寸到300 mm。
EV集團(EVG)是面向MEMS,納米技術和半導體市場的晶圓鍵合機和光刻設備的**供應商,***宣布已收到其制造設備和服務的***組合產品組合的多個訂單,這些產品和服務旨在滿足對晶圓的新興需求,水平光學(WLO)和3D感應。市場**的產品組合包括EVG®770自動UV-納米壓印光刻(UV-NIL)步進器,用于步進重復式主圖章制造,用于晶圓級透鏡成型和堆疊的IQAligner®UV壓印系統以及EVG ®40NT自動測量系統,用于對準驗證。EVG的WLO解決方案由該公司的NILPhotonics®能力中心提供支持。
使用** 欣的壓印光刻技術和鍵合對準技術在晶圓級制造微透鏡,衍射光學元件和其他光學組件可帶來諸多好處。這些措施包括通過高度并行的制造工藝降低擁有成本,以及通過堆疊使**終器件的外形尺寸更小。EVG是納米壓印光刻和微成型領域的先驅和市場***,擁有全球比較大的工具安裝基礎。
HERCULES 光刻軌道系統技術數據:
對準方式:
上側對準:≤±0.5 μm;
底側對準:≤±1,0 μm;
紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基材
先進的對準功能:
手動對準;
自動對準;
動態對準。
對準偏移校正:
自動交叉校正/手動交叉校正;
大間隙對準。
工業自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理
曝光源:汞光源/紫外線LED光源
曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補償:全自動軟件控制;非接觸式
曝光選項:
間隔曝光/洪水曝光/扇區曝光
系統控制
操作系統:Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數
多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR
實時遠程訪問,診斷和故障排除 EVG光刻機設備,可完全集成到HERCULES光刻軌道系統中,并輔以其用于從上到下側對準驗證的計量工具。
EVG620 NT或完全容納的EVG620
NT Gen2掩模對準系統配備了集成的振動隔離功能,可在各種應用中實現出色的曝光效果,例如,對薄而厚的光刻膠進行曝光,對深腔進行構圖并形成可比的形貌,以及對薄而易碎的材料(例如化合物半導體)進行加工。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。
EVG620 NT特征:
晶圓/基板尺寸從小到150 mm /
6''
系統設計支持光刻工藝的多功能性
易碎,薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,更換時間短
帶有間隔墊片的自動無接觸楔形補償序列 岱美是EVG光刻機在中國的代理商,提供本地化的質量服務。功率器件光刻機
只有接近客戶,才能得知客戶**真實的需求,這是我們一直時刻與客戶保持聯系的原因之一。廣西光刻機免稅價格
儀器儀表行業飛速發展一是因為我國的經濟高速穩定發展的運行;按照過去的經驗,如果GDP的增長在10%以上時,儀表行業的增長率則在26%~30%之間。二是因為我國宏觀調控對儀表行業的影響有一個滯后期,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏觀調控政策而減少的收入對儀表行業的影響不會太大。我國現有有限責任公司企業數千多家,已經形成門類品種比較齊全,具有一定技術基礎和生產規模的產業體系。但同時業內行家也指出,雖然我國測試儀器產業有了一定的發展,但遠遠不能滿足國民經濟各行各業日益增長的迫切需求。伴隨移動互聯網的爆發式增長,如今,它已經漸漸取代電子商務成為了整個互聯網產業增速**快的領域,而移動終端的入口也隨即成為了傳統行業的必爭之地。磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發行業進軍移動互聯網實現線上發展勢在必行。中國其他型正面臨百年未有之大變局,行業行家認為,中美貿易戰不會有終點,中美關系時好時壞將成為常態,儀器儀表行業無法排除大局勢的影響,且不要把問題聚焦在關稅上。中國經濟的高速發展得益于WTO框架下的全球化分工;現在中國制造的競爭力在于工業門類齊全、供應鏈完整、供應鏈的高度專業和細分。廣西光刻機免稅價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創新實現***管理的追求。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富、技術創新的專業研發團隊,以高度的專注和執著為客戶提供磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務不斷開拓創新,追求出色,以技術為先導,以產品為平臺,以應用為重點,以服務為保證,不斷為客戶創造更高價值,提供更優服務。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執著使岱美儀器技術服務在行業的從容而自信。