例如，基于半導體硅材料壓阻效應的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應的微位移傳感器等。1.應用于醫療MEMS傳感器應用于無創胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數很難測量準確。而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀，價格昂貴，*為少數大醫院使用，在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。按照生物敏感物質相互作用的類型分類，可分為親和型和代謝型兩種。閔行區標準傳感器檢測

MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統的重要組成部分，MEMS傳感器是實現微機電系統感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術，即微電子制造技術和微機械加工制造技術，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統傳感器有相當大的區別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應工作的，它的制作工藝結合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現，通過對材料的微機械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數的穩定的結構器件(如梁、膜、叉指等單一或復合的結構)，從而實現對各種相關參數的感知、測試和轉換虹口區標準傳感器性能由此可見，傳感器技術在發展經濟、推動社會進步方面的重要作用，是十分明顯的。

24GHz雷達RFbeam 24GHz雷達傳感器24GHz雷達傳感器采用高頻微波來測量物體運動速度、距離、運動方向、方位角度信息，采用平面微帶天線設計，具有體積小、質量輕、靈敏度高、穩定強等特點，***運用于智能交通、工業控制、安防、體育運動、智能家居等行業。工業和信息化部2012年11月19日正式發布了《工業和信息化部關于發布24GHz頻段短距離車載雷達設備使用頻率的通知》（工信部無〔2012〕548號），明確提出24GHz頻段短距離車載雷達設備作為車載雷達設備的規范。

光傳感器不只局限于對光的探測，它還可以作為探測元件組成其他傳感器，對許多非電量進行檢測，只要將這些非電量轉換為光信號的變化即可。光傳感器是產量**多、應用**廣的傳感器之一，它在自動控制和非電量電測技術引中占有非常重要的地位。**簡單的光敏傳感器是光敏電阻，當光子沖擊接合處就會產生電流。生物生物傳感器的概念傳感器（圖11）生物傳感器是用生物活性材料（酶、蛋白質、DNA、抗體、抗原、生物膜等）與物理化學換能器有機結合的一門交叉學科，是發展生物技術必不可少的一種先進的檢測方法與監控方法，也是物質分子水平的快速、微量分析方法。霍爾傳感器分為線性型霍爾傳感器和開關型霍爾傳感器兩種。

國內在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作，如西安電子科技大學研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學微電子所開發的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵、壓阻電橋檢測的方式，其敏感結構為高度對稱的4角支撐質量塊形式，在質量塊4邊與支撐框架之間制作了4個諧振梁用于信號檢測。3、微機械陀螺角速度一般是用陀螺儀來進行測量的。傳統的陀螺儀是利用高速轉動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度的。這種陀螺儀的精度很高，但它的結構復雜，使用壽命短，成本高，一般*用于導航方面，而難以在一般的運動控制系統中應用。實際上，如果不是受成本限制，角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統、攝象機的穩定系統、醫用儀器、***儀器、運動機械、計算機慣性鼠標、***等領域有廣泛的應用前景。常見的微機械角速度傳感器有雙平衡環結構，懸臂梁結構、音叉結構、振動環結構等。但是，實現的微機械陀螺的精度還不到10°/h，離慣性導航系統所需的0.1°/h相差尚遠。傳感器的存在和發展，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官，讓物體變得活了起來，傳感器是人類五官的延長。上海標準傳感器設計

線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成，它輸出模擬量。閔行區標準傳感器檢測

各種生物傳感器有以下共同的結構：包括一種或數種相關生物活性材料（生物膜）及能把生物活性表達的信號轉換為電信號的物理或化學換能器（傳感器），二者組合在一起，用現代微電子和自動化儀表技術進行生物信號的再加工，構成各種可以使用的生物傳感器分析裝置、儀器和系統。生物傳感器的原理待測物質經擴散作用進入生物活性材料，經分子識別，發生生物學反應，產生的信息繼而被相應的物理或化學換能器轉變成可定量和可處理的電信號，再經二次儀表放大并輸出，便可知道待測物濃度。閔行區標準傳感器檢測

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