本實用新型涉及真空鍍膜機技術領域，具體為一種磁控濺射真空鍍膜機。背景技術：真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材，基片與靶材同在真空腔中，濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且**終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程(散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)，**終形成薄膜。目前市場上類似的磁控濺射真空鍍膜機在長時間使用后，會在鍍膜機腔體的內(nèi)壁粘黏有靶材和雜質(zhì)，通常需要裝卸內(nèi)部的轉(zhuǎn)動架，用人工的方式對腔體內(nèi)壁進行定時維護，手動清理擦拭，費時費力，清理效率低，為了解決上述問題，我們提出一種磁控濺射真空鍍膜機。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的目的在于提供一種磁控濺射真空鍍膜機，以解決上述背景技術中提出的問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種磁控濺射真空鍍膜機，包括控制箱，所述控制箱的上表面后側(cè)固定安裝后罐體，所述后罐體的前表面鉸接有前罐體，所述后罐體的前表面上側(cè)固定安裝有驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置的下側(cè)安裝有清理裝置，所述清理裝置包括u形架。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，板材鍍膜，有需要可以咨詢！江蘇1500真空鍍膜機制造商

進一步地，所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設有用于穿設溫控管的通道，所述溫控管埋設于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設備，包括機械模塊部件、工藝模塊部件和本實用新型所述的真空反應腔室，所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應腔內(nèi)，部分所述機械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實用新型實施例提供的上述技術方案與現(xiàn)有技術相比具有如下***：本實用新型提供的真空反應腔室，包括用于提供真空環(huán)境的外腔體，以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進行工藝反應的內(nèi)反應腔；并且，內(nèi)反應腔的側(cè)壁上設有自動門，工件自外腔體經(jīng)自動門進入內(nèi)反應腔中。其中，外腔室和內(nèi)反應腔為嵌套結(jié)構(gòu)，其內(nèi)反應腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中，相當于設置了兩個腔室，其中外腔體用于提供真空環(huán)境，而工藝反應則在內(nèi)反應腔中進行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu)，可以將工藝模塊部件設置于內(nèi)反應腔中，而與工藝反應無直接關系的機械模塊部件則被設置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后，位于外腔體中的工件再經(jīng)自動門進入內(nèi)反應腔中進行工藝反應，可以有效避免設備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進入內(nèi)反應腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應區(qū)域，避免工藝污染，提供工藝質(zhì)量。由于設置雙腔室，作為工藝反應區(qū)的內(nèi)反應腔相對較小。上海磁控濺射真空鍍膜機哪家便宜品質(zhì)真空鍍膜機膜層亮度高，請選丹陽市寶來利真空機電有限公司，有需要可以來咨詢考察！

本實用新型涉及真空設備領域，尤其涉及一種真空反應腔室和真空鍍膜設備。背景技術：目前，真空設備，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等離子體增強化學氣相沉積）和pvd（physicalvaporde****ition，物寶來利相沉積）設備已被廣泛應用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，如光伏電池、半導體器件等等。真空設備中(如pecvd設備、pvd設備)的寶來利真空反應室通常為單個反應腔室，傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設置于該單個反應腔室內(nèi)，這就造成反應腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉，容易造成工藝環(huán)境污染。另外，設置單個反應腔室時，由于工藝反應區(qū)域較大，容易造成工藝所需原料的浪費，同時，還會造成工藝反應過程中溫度波動大，不可控因素較多，從而影響工藝過程。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應腔室，以解決現(xiàn)有真空設備中由于只設置一個反應腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應腔室的真空鍍膜設備。為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案如下：一種真空反應腔室，包括：用于提供真空環(huán)境的外腔體。

還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖：圖1為本實施例中一種真空鍍膜設備的主視示意圖；圖2為本實施例中圖1中a處的放大示意圖；圖3為本實施例中圖1中b處的放大示意圖；圖4為本實施例中頂蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式為了使本實用新型實施例的目的、技術方案和***更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型的部分實施例，而不是全部實施例?；诒緦嵱眯滦偷膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型的保護范圍。本實用新型較佳實施例的如圖1和圖2所示，構(gòu)造一種真空鍍膜設備，包括鍍膜機1；鍍膜機1底部設有出氣管11；出氣管11上設有寶來利真空連接套12；寶來利真空連接套12上設有第二連接套2；第二連接套2中設有頂蓋22，頂蓋22與寶來利真空連接套12之間通過磁吸連接；第二連接套2遠離鍍膜機1一側(cè)設有抽氣管3；抽氣管3遠離第二連接套2一側(cè)設有真空泵4；抽氣管3內(nèi)靠近真空泵4一側(cè)設有寶來利真空過濾網(wǎng)41；抽氣管3遠離鍍膜機1一側(cè)設有沉降組件；在抽真空時，按下開關13，啟動真空泵4，電磁鐵122通電產(chǎn)生與磁片223相同的磁性，利用磁鐵的原理。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，有需要可以咨詢！

通孔41從上至下向外傾斜，通孔41的內(nèi)部固定安裝有噴頭42。鉸接的前罐體2和后罐體3方便開合，驅(qū)動裝置5能帶動清理裝置4中的u形架44、刮板43轉(zhuǎn)動，使刮板43剮蹭后罐體3、前罐體2的內(nèi)表面，從上至下向外傾斜通孔41能夠與噴頭42配合，將清洗液噴灑在后罐體3、前罐體2的內(nèi)表面。驅(qū)動裝置5包括半圓板52，前罐體2的前表面上側(cè)開設有與半圓板52匹配的半圓槽51，半圓板52的上表面開設有轉(zhuǎn)軸通孔53，半圓板52的上表面固定安裝有防護罩55和減速電機54，防護罩55罩接在減速電機54的外側(cè)，減速電機54的輸出軸轉(zhuǎn)動安裝在轉(zhuǎn)軸通孔53的內(nèi)部，減速電機54輸出軸的下端與u形架44固定裝配。驅(qū)動裝置5中的半圓板52起支撐作用，與半圓槽51配合不妨礙后罐體3和前罐體2的蓋合，減速電機54能夠帶動u形架44、刮板43在后罐體3和前罐體2的內(nèi)部轉(zhuǎn)動，防護罩55能夠保護內(nèi)部的減速電機54，起防塵、保護作用。前罐體2的下表面后側(cè)安裝有集料盒7，集料盒7包括出料口71，出料口71的下側(cè)固定安裝有外螺管72，外螺管72的外側(cè)螺接有收集盒73。集料盒7能夠通過出料口71、外螺管72、收集盒73，方便收集并清理清理裝置4剮蹭下來的碎屑?？刂葡?的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有清洗箱8和泵6，清洗箱8固定安裝在泵6的右側(cè)。寶來利HUD真空鍍膜機性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細膩有光澤，有需要可以來咨詢！上海防水真空鍍膜機參考價

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真空鍍膜設備在操作過程中，膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當、磁場設計不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下：距離問題：靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化，會影響濺射的均勻性。磁場設計問題：磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場的設計，如果磁場分布和強度不均，則會導致膜層均勻度不佳。氣體引入問題：如乙炔在反應濺射過程中引入不均，也會導致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問題，可以考慮以下方案：調(diào)整靶材與基片間的距離：確保兩者間距離適宜，以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場設計：通過改善和優(yōu)化磁場的分布及強度，提高靶材表面離子轟擊的均勻性，進而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材：在濺射過程中，改變它們的相對位置和角度，使得材料能夠更均勻地分布在基片上。江蘇1500真空鍍膜機制造商