超精密加工技術是指加工精度達到亞微米級甚至納米級的制造技術，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些方法能夠實現對硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學元件、微型機械、生物醫療器件等領域。常見的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進行加工，能夠實現對非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學加工：通過電解作用去除材料，適用于加工微細、復雜結構的零件。超精密加工技術的發展對提高我國制造業的國際競爭力具有重要意義。激光超精密切割的加工特點是速度快，切口光滑平整，一般無需后續加工;切割熱影響區小，板材變形小。工業超精密噴嘴

通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm，公差等級在IT5以上的加工技術。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念，其間的界限將隨著加工技術的進步不斷變化，現在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，變成平滑表面看似現代科技的超精密加工，其實在上個世紀早已出現超精密加工的發展經歷了如下三個階段：（1）20世紀50年代至80年代為技術開創期出于航天、大規模集成電路、激光等技術發展的需要，美國率先發展了超精密加工技術，開發了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。（2）20世紀80年代至90年代為民間工業應用初期在相關機構的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學等也陸續推出產品，并開始用于民間工業光學組件的制造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以特殊機的形式訂作。超硬超精密COF Bonding Tool激光的應用已從大尺寸的粗糙加工，慢慢擴展到小尺寸、高精度的領域。

超精密加工的機理研究：包括微細加工機理研究；微觀表面完整性研究；在超精密范疇內的對各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過程、現象、性能以及工藝參數進行提示性研究1。超精密加工的設備制造技術研究：如納米級超精密車床工程化研究；超精密磨床研究；關鍵基礎件，像軸系、導軌副、數控伺服系統、微位移裝置等研究；超精密機床總成制造技術研究1。超精密加工工具及刃磨技術研究：例如金剛石刀具及刃磨技術、金剛石微粉砂輪及其修整技術研究1。超精密測量技術和誤差補償技術研究：包含納米級基準與傳遞系統建立；納米級測量儀器研究；空間誤差補償技術研究；測量集成技術研究1

超精密加工為了提升工藝的精細度，超精密加工會使用到高精度位置感測器(displacementsensor)、高階CNC(computernumericalcontrol)控制器等進階設備。由于精度高的緣故，常應用在光學元件，如：雷射干涉系統、光碟機的讀取透鏡、影印機與印表機用的fq鏡面、數位相機或手機相機的光學鏡頭等；也會應用在機械工業如：電腦硬碟、光纖固定與連接裝置、高精度射出或模造用模具…等。此外，航空及航海工業中導航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學儀器等也會運用超精密加工的技術。一旦產品圖紙形成后，馬上可以進行超精密激光加工，你可以很快得到新產品的實物。

飛秒激光技術在超精密加工領域的應用，如微機械加工、微電子制造等，其重點在于利用飛秒激光的高能量密度和精確控制能力，實現對材料的精細加工。超精密加工技術是指加工精度達到亞微米甚至納米級別的制造技術，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學加工等方法。這些技術廣泛應用于光學元件、航空航天、精密模具、半導體和醫療器械等領域，能夠滿足高精度、高表面質量的產品需求。超精密鉆孔技術是一種高精度加工方法，能夠實現微米級甚至亞微米級的加工精度。該技術廣泛應用于電子、光學、精密儀器等領域，主要用于加工微型孔、異形孔等復雜結構。其加工設備通常包括數控機床、激光鉆孔系統等，并采用特種刀具和特殊控制系統以確保加工質量。超精密加工包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術。超快超精密異形孔

不受加工數量的限制，對于小批量加工服務，激光超精密加工更加便宜。工業超精密噴嘴

超精密加工技術，是現代機械制造業主要的發展方向之一。在提高機電產品的性能、質量和發展高新技術中起著至關重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關鍵技術。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。加之測量技術、環境保障和材料等問題，人們把這種技術總稱為超精工程。工業超精密噴嘴