通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質層很小，表面質量高。精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min，濕研速度為20 - 120m/min），對加工環境要求嚴格，如有大磨料或異物混入時，將使表面產生很難去除的劃傷。拋光是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現對工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工。不受加工數量的限制，對于小批量加工服務，激光超精密加工更加便宜。高精度超精密無氧銅真空卡盤

技術特點高精度：超精密加工能夠實現亞微米級別的加工精度，這使得它非常適合用于制造需要極高精度的零部件。高質量表面：通過控制加工過程中的各種參數，超精密加工可以產生非常光滑的表面，減少表面粗糙度。材料適用性廣：超精密加工技術可以應用于各種材料，包括金屬、陶瓷和聚合物等。應用領域光學元件制造：如激光核聚變光學元件的制造，需要極高的表面質量和精度。微電子器件：如半導體芯片的制造，需要極高的加工精度和表面質量。航空航天：用于制造高性能的航空零部件，如渦輪葉片等。微米級超精密晶圓卡盤超精密激光切割集切割、雕刻、鏤空等工藝于一身，可以滿足各類材料的切割打孔，以及其他工藝需求。

超精密加工是指在微米級或納米級尺度上進行的加工技術，它能夠制造出具有極高精度和表面質量的零件。這種加工技術廣泛應用于半導體制造、光學元件、醫療器械、航空航天等領域。超精密加工技術包括超精密車削、磨削、銑削、拋光等工藝，這些工藝要求使用高精度的機床設備、高質量的刀具材料以及精細的加工參數控制。隨著科技的進步，超精密加工技術正向著更高的精度、更復雜的形狀和更廣泛的應用領域發展。超精密技術是指在制造和測量過程中達到極高的精度和精確度。這種技術廣泛應用于半導體制造、精密工程、航空航天、醫療設備等領域。超精密加工技術能夠實現微米甚至納米級別的加工精度，而超精密測量技術則能夠檢測出極微小的尺寸變化和形狀誤差。隨著科技的發展，超精密技術在提高產品質量、性能和可靠性方面發揮著越來越重要的作用。

精密加工小知識：IT是加工精度的衡量單位，主要為衡量生產產品的精度、品質、加工誤差。IT后面的數值愈大，表示精度越低、誤差越大，如IT9就比IT5來的粗糙；公差等級從IT01，IT0，IT1，IT2，IT3至IT18一共有20個。精密加工技術特色介紹隨著時代變化，工業能力的不斷進步，有可能現在的精密加工也會變成明天的粗加工。常見工藝過程有：車削、銑削、鉆孔、插齒、珩磨、磨削等；若有特殊需求，在車床加工完后還會多一道熱處理的方式，包括：滲碳，淬火，回火等，提升硬度、機械規格。目前精密加工技術能應用在「所有的」金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上，但由于不同材質的表面都有所差異，所以切割與研磨等數值都需在CAD（計算機輔助設計）或CAM（計算機輔助制造）程序上架構好，并嚴格遵守才能確保產品品質、降低誤差。由于材料范圍廣且精度高，精度加工技術普遍會應用在航太業、醫療器材、太陽能板零件等。此外，當精密加工已無法達到更好的形狀精度(formaccuracy)、表面粗糙度(surfaceroughness)與尺寸精度時，就會需要使用到超精密加工的技術。超精密加工包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術。

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面，其應用范圍很廣，包括金屬鉆孔，陶瓷鉆孔，半導體材料鉆孔，玻璃鉆孔，柔性材料鉆孔等等，尤其是針對一些堅硬易碎或者彈性較大的材料，如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測相關，陶瓷，藍寶石，薄膜等優勢尤為明顯。由于激光打孔具有效率高、成本低及綜合技術經濟效益好等優點，已經成為超精密激光打孔認可設備。解決超精密激光打孔長期的痛點。1、激光打孔機的技術已經越來越成熟，不單單可以進行打孔，還能切割、焊接一體化，屬于多功能激光一體機。激光打孔是利用高性能激光束對樣品進行瞬時打孔，激光束打孔無需接觸，熱變形極小，所以也就解決了傳統機械打孔出現變形的問題。2、激光打孔機具備加工速度快、效率高、直邊割縫小、割面光滑，可獲得大的深徑比和深寬比，激光打出來的孔徑均勻、大小一致，誤差極小。3、激光打孔機可在硬、脆、軟等各種材料上進行精細打孔切割。節省人工，提高產能，傻瓜式操作無需儲備技術人才，操作簡單輕易上手。超精密激光打孔機打孔速度非常快，將高效能激光器與高精度的機床及控制系統配合，通過微處理機進行程序控制，實現高效率打孔。對于大件產品的加工，大件產品的模具制造費用很高，激光超精密加工不需任何模具制造。微米級超精密晶圓卡盤

超快激光采用的超短脈沖激光是利用場效應進行加工，不僅可以達到更高的精度，并且不會對材料表面造成損傷。高精度超精密無氧銅真空卡盤

微泰利用激光制造和供應精密切割產品。在MLCC印刷過程中，如果需要對精密面罩板或復雜形狀的產品進行精確的切割，則通常的激光切割供應商會遇到難以處理的難題。然而，微泰擁有激光加工技術，能夠進行精密切割加工，并生產和提供高質量的激光切割產品，滿足客戶的需求。應用于MLCC掩模板陣列遮罩板，測包機分度盤。各種MLCC設備精密零件。掩蔽夾具：在MLCC制造過程中進行濺射涂層；在凹槽寬度公差(+0.01)范圍內進行加工、去毛刺同時需要平面度；微泰使用超精密激光設備，超高速加工MLCC掩模板陣列遮罩板高精度超精密無氧銅真空卡盤