深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破:深硅刻蝕(DRIE)是制備高深寬比微流道的主要工藝,公司通過優化Bosch工藝參數,實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體(ICP)源,結合氟基氣體(如SF6)與碳基氣體(如C4F8)的交替刻蝕與鈍化,確保側壁垂直度>89°,表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時,可精確復制地下巖層的微孔結構,用于油氣滲流特性研究;在生化試劑反應腔中,高深寬比流道增加了反應物接觸面積,使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術,實現三維立體流道網絡加工,為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力,推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。深入了解微流控芯片。吉林微流控芯片扣件
特定設計芯片的批量生產也降低了其成本。Caliper的旗艦產品是LabChip 3000新藥研發系統,其微流體成分分析可以達到10萬個樣品,還有用于高通量基因和蛋白分析的LabChip 90 電泳系統。據Caliper宣稱,75 %的主要制藥和生物技術公司都在使用LabChip 3000系統。美國加州的安捷倫科技公司曾與Caliper科技公司簽署正式合作協議,該項合作于1998年開始,安捷倫作為一個儀器生產商的實力,結合其在噴墨墨盒的經驗,在微流控技術尚未成熟時,就對微流體市場做出了獨特的預見,除了采用MEMS微納米加工技術外,采用噴墨打印是目前為止微流控技術應用很多的產品路徑之一。浙江微流控芯片中的流體流動熱壓印工藝實現硬質塑料微結構快速成型,降低小批量生產周期與成本。
微流控芯片與傳感器集成的模塊化加工方案:為滿足“芯片即實驗室”的集成化需求,公司提供微流控芯片與傳感器的模塊化加工服務,實現流體控制與信號檢測的一體化設計。在生物傳感芯片中,微流道下游集成電化學傳感器(如碳電極陣列)或光學傳感器(如熒光檢測窗口),通過微閥控制實現樣品進樣、清洗及信號讀取的自動化。例如,POCT血糖儀芯片將血樣引入微流道后,通過酶電極實時檢測葡萄糖氧化反應電流,整個過程在30秒內完成,檢測精度與傳統血糖儀一致,但體積縮小80%。加工過程中,公司解決了傳感器與流道的密封兼容性問題,采用激光焊接與導電膠鍵合技術,確保信號傳輸穩定性與流體零泄漏。該模塊化方案支持定制化功能組合,適用于食品安全快速篩查等便攜式設備,為現場即時檢測(POCT)提供了高效集成平臺。
微流控芯片的原理:微流控芯片基于微流體力學原理,通過對微尺度通道內流體的操控,實現對微小流體的混合、分離、傳輸和操控。微流控芯片的操作通常通過控制微閥門、微泵等來調節流體的壓力、流速和流量,從而實現對微流體的控制。
微流控芯片的分類:微流控芯片可以根據不同的應用領域和功能進行分類,常見的分類包括:生物傳感芯片-用于生物醫學研究、生物分析和生物檢測等領域,如細胞培養芯片、DNA分析芯片等。化學芯片:用于化學分析、化學合成和藥物篩選等領域,如微反應器芯片、分析芯片等。環境芯片:用于環境監測和污染物檢測等領域,如水質監測芯片、氣體傳感器芯片等。 深硅刻蝕實現 500μm 以上深度微流道,適用于高壓流體控制與微反應器。
肺組織微流控器官芯片(LoC):這是另一種在微型設備上的人肺的3D工程復雜模型。它基本上構成了人類的肺和血管。該系統可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外,它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征,并進一步模擬病原體引發的炎癥反應。此外,它可用于測試由環境toxin和氣溶膠產品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用,因此,它被用于不同肺部疾病醫療方式的戰略實施。在組織設計中,微流控創新通過提供氧氣,營養和血液,在復雜組織的發展方面發揮著重要作用。它為肺細胞開發了一個微環境來研究生理活動。Wyss研究所設計了各種肺部微芯片,以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。POCT 微流控芯片通過集成設計,實現無泵閥自動化樣本處理與快速檢測。中國香港微流控芯片之聲表面波器件加工
梯度涂層設計實現微流控芯片內細胞定向遷移,用于一些研究。吉林微流控芯片扣件
完善、高標準的PDMS芯片生產產線:公司自建的PDMS芯片標準化產線,采用全自動混膠、真空脫泡與高溫固化工藝,確保芯片力學性能(彈性模量1-3MPa)與透光率(>92%)的高度一致性。通過精密模具(公差±2μm)與等離子體親水化處理,產線可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如,液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液(粒徑CV<2%),通量達20,000滴/秒,用于單細胞測序時捕獲效率超98%。質檢環節引入微流控性能測試平臺,通過熒光粒子追蹤與壓力-流量曲線分析,確保流速偏差<3%。產線還可定制表面改性方案,如二氧化硅涂層使PDMS親水性維持30天以上,滿足長期細胞培養需求。目前,該產線已為多家IVD企業提供核酸快檢芯片,30分鐘出結果,靈敏度達99%,成為基層醫療的可靠工具。吉林微流控芯片扣件