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北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-02-21

12.3.1防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時(shí),其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護(hù),其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護(hù)。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直,裝配成卷簾后,不應(yīng)存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的防煙裝置的材料應(yīng)為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應(yīng)均勻緊密貼合,其貼合面長度不應(yīng)小于導(dǎo)軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾,其兩側(cè)應(yīng)安裝由感煙、感溫火災(zāi)探測器組成的火災(zāi)探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應(yīng)是經(jīng)相關(guān)檢測機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品。2防火門的開啟角度不應(yīng)小于90°,并應(yīng)具有在發(fā)生火災(zāi)時(shí)能迅速關(guān)閉的功能。國內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進(jìn)行測試。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn),無塵室檢測

5.5.6在回、排風(fēng)口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備,在安裝前應(yīng)用現(xiàn)場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏,并應(yīng)確認(rèn)無漏后安裝?;?、排風(fēng)口安裝后,對非零泄漏邊框密封結(jié)構(gòu),應(yīng)再對其邊框掃描檢漏,并應(yīng)確認(rèn)無漏;當(dāng)無法對邊框掃描檢漏時(shí),必須進(jìn)行生物學(xué)等專門評價(jià)。5.5.7當(dāng)在回、排風(fēng)口上安裝動態(tài)氣流密封排風(fēng)裝置時(shí),應(yīng)將正壓接管與接嘴牢靠連接,壓差表應(yīng)安裝于排風(fēng)裝置近旁目測高度處。排風(fēng)裝置中的高效過濾器應(yīng)在裝置外進(jìn)行掃描檢漏,并應(yīng)確認(rèn)無漏后再安入裝置。浙江消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測方法由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起,構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

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7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí),宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)。

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潔凈凈化室有三大標(biāo)準(zhǔn):禁塵、帶塵、粉塵。不銹鋼風(fēng)淋室做為進(jìn)到凈化室的緩存安全通道之一,是操縱帶塵的比較好是凈化機(jī)器設(shè)備之一,它能夠比較大限度地降低職工出入潔凈凈化室所產(chǎn)生的環(huán)境污染難題。無塵室必須改造的緣故關(guān)鍵有:建筑工程設(shè)計(jì)不科學(xué)、以低擋商品替代***商品、供支氣管或過濾裝置密封性欠佳這些狀況,而這種都對生產(chǎn)制造標(biāo)準(zhǔn)化商品有一定危害,因此務(wù)必改版。無塵室需精心施工才可以確保凈化室的品質(zhì),并確保凈化室安全性平穩(wěn)運(yùn)作,確保在同一工作中表面的配套設(shè)施安裝與凈化室改造技術(shù)工種另外交叉作業(yè),各崗位人員中間須開展緊密的相互配合,本新項(xiàng)目具備樓高,工期緊等特性。無塵室創(chuàng)造了一個(gè)幾乎不含微塵和有害物質(zhì)的特殊空間,為高精密制造、敏感實(shí)驗(yàn)和科研工作提供了理想的環(huán)境。北京消毒液凈化車間環(huán)境無塵室檢測頻率

沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進(jìn)行,凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測出分速度時(shí),應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。E.1.4對于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,截面上測點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,一般取0.3m。測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于20個(gè),均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室,內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量,為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,也可用風(fēng)口法。北京半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

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