（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對(duì)無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會(huì)很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個(gè)相對(duì)的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出，對(duì)工作人員的健康是不利的。在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司

D.3.2靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測包括過濾器的整個(gè)面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。上海潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測范圍應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時(shí)的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時(shí)，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級(jí)用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時(shí)變動(dòng)而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........對(duì)較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理。靜電潔凈室檢測報(bào)告

送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司

B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時(shí)間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評(píng)估方法有100：1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時(shí)間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100：1自凈時(shí)間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義：粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度，為對(duì)數(shù)刻度；橫座標(biāo)表示濃度，為線性刻度)。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測公司