②沉降菌的測(cè)試對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始；對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn)，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。潔凈室檢測(cè)通常包括空氣潔凈度、溫濕度、壓差等多個(gè)參數(shù)。檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

5.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時(shí)變形小、污染物濃度符合現(xiàn)行國(guó)家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對(duì)室內(nèi)各種產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光,便于除塵,并應(yīng)減少凹凸面。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當(dāng)必須采用時(shí)宜采用干燥作業(yè),抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50210中高級(jí)抹灰的要求。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,并應(yīng)選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗,表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料。廣東電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)溫濕度波動(dòng)范圍的控制對(duì)于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。

4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下,潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔，避免成為污染源。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應(yīng)該該高則高，該低則低，并非越高越好。河北潔凈工作臺(tái)檢測(cè)服務(wù)至上

主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同，不同點(diǎn)只有一處，由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)，因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無(wú)要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣；計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過(guò)1m；離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中，計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域，離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上，采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍，使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度，應(yīng)保留一個(gè)低于5μm（見GB/T25915.1-2010中表1）的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中，濃度之和不應(yīng)超過(guò)所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)