4.1.1潔凈廠房位置選擇應符合下列規定，并經技術經濟方案比較后確定：1應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環境較好的區域。2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區域。當不能遠離嚴重空氣污染源時，應位于比較大頻率風向上風側，或全年極小頻率風向下風側。3應布置在廠區內環境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設置環形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應選用整體性能好、發塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?，不應種植對生產有害的植物，并不得妨礙消防作業。檢測報告應包括檢測結果、問題分析、改進措施及建議等內容。山東實驗室環境檢測值得推薦

6.2.1潔凈室（區)與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa，潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量，根據潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。6.2.4送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時聯鎖程序應相反。負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。河北實驗室環境檢測規范性強潔凈室檢測過程中，應注重節能降耗，實現綠色生產。

3.壓差檢測：潔凈室與外界環境的壓差是保持潔凈室內潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區域的壓差進行測量，確保潔凈室內部與外部環境的壓差符合規定要求，從而防止外部污染物進入潔凈室。4.氣流速度檢測：潔凈室內的氣流速度對于維持潔凈度至關重要。氣流速度過快可能導致塵埃粒子飛揚，而氣流速度過慢則可能導致塵埃粒子沉積。因此，氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測：潔凈室內的各種表面，如墻壁、地面、設備外殼等，也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數量進行檢測，評估潔凈室內部表面的潔凈情況。

潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中，尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現今的晶圓已經發展到奈米級的水準，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈環境是為生產工藝服務的。

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數規程將離散粒子計數器的采樣探頭放在預定位置，設定計數器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規定的粒徑閾值。在單向流區域，所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣[1]，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點，采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產生的采樣誤差不應大于5%。潔凈室檢測數據應與其他質量控制數據相結合，綜合分析。潔凈室檢測

按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業潔凈室和生物潔凈室。山東實驗室環境檢測值得推薦

B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量?？諝鈽颖境槿藘x器,經噴嘴進人一個局部真空區,空氣因膨脹而加速,測量在真空區進行。空氣樣本中的所有粒子均在測量區加速,粒子的加速度與粒子質量成反比。利用測量點的風速與粒子速度兩者的關系,可測定粒子的空氣動力學直徑。知道環境與測量區之間氣壓的壓差,可直接計算出風速。根據粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數器相同。山東實驗室環境檢測值得推薦