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來源: 發布時間:2025-05-10

潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中,尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現今的晶圓已經發展到奈米級的水準,隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級別來區分的,而這種級別又是用操作時間空氣的計數含塵濃度來表示。廣東生物安全柜檢測誠信推薦

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B.2.1.2計數效率測量U描述符所用體系的計數效率應落在圖B.1的陰影之內[1]。該陰影區為性能達標區,其中心對應的選定粒徑超微粒子的計數效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數效率允差的規定,是基于對擴散元件透過率的計算,該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數器(DPC)或凝聚核計數器(CNC)的計數效率曲線落在圖B.1陰影區之外的右側,則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區之外的左側,則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數效率。此時,經改進的離散粒子計數器或凝聚核計數器的計數效率就成為原計數器的計數效率與粒徑限制器透過率的乘積。福建排風柜檢測方便客戶潔凈室檢測中發現的改進機會應納入持續改進計劃中。

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潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。一個檔次適用于處于空態的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統已經充分運轉,各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。

B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量。空氣樣本抽人儀器,經噴嘴進人一個局部真空區,空氣因膨脹而加速,測量在真空區進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區加速,粒子的加速度與粒子質量成反比。利用測量點的風速與粒子速度兩者的關系,可測定粒子的空氣動力學直徑。知道環境與測量區之間氣壓的壓差,可直接計算出風速。根據粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數器相同。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

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4.2.2潔凈廠房的平面和空間設計應滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應分區布置,并應與生產操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統等各種技術設施進行綜合協調。4.2.3潔凈廠房內應少設隔間,但在下列情況下應進行分隔:1按生產的火災危險性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間,或有防火分隔要求者。2按產品生產工藝需要有分隔要求時。3生產聯系少,并經常不同時使用的兩個生產區段之間。4.2.4在滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下,潔凈廠房內各種固定技術設施的布置,應優先考慮凈化空調系統的要求。固定技術設施包括送風口、照明器、回風口、各種管線等。按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業潔凈室和生物潔凈室。上海潔凈室環境檢測價格

檢測為送回風口的布置和氣流的通暢創造條件:氣流設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。廣東生物安全柜檢測誠信推薦

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