勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯機的接口界面(interface),包括暫時儲存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機交換晶圓的接口等。 [1]定期更換過濾芯,一般每周更換一次(建議使用100u濾芯);無錫國產涂膠顯影機私人定做
各工序之間有***膠片表面所帶前道工序液滴的裝置,以減小對下道工序溶液的污染。采用方式有高壓空氣吹拂的氣刀式﹑真空抽吸的吸拂式﹑軟橡膠片的托板式和軟橡膠滾輪的擠壓式等,或者幾種方式混合使用。彩色正片洗片機在漂白工序之后有聲帶再顯影裝置,對影片聲帶部位用涂漿輪單獨進行二次顯影,以保留聲帶中的含銀量,提高彩色影片的聲音質量。洗片機分亮室操作和暗室操作兩類,前者定影之前的藥液槽設有防光蓋,尚未進入沖洗的膠片放在暗盒和緩沖箱中,因此可以在光照下操作。后者把定影之前的部分安排在另一間暗室之中。無錫國產涂膠顯影機私人定做是由電機通過蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動傳送輥轉動,并通過對壓膠輥驅動使印版通過顯影機的各個工作環節。
海多吉濃又名幾奴尼,它的學名被稱作對苯二,它的顏色呈灰白或白色,一般是細針狀晶體,在20℃時每100毫升水中可溶解6克,其水溶液很易變黃,這是因為它是易氧化的物質。為了防止氧化,使其具有良好的顯影性能,一般的要在水中先溶解亞硫酸鈉,而后溶解海多吉濃。海多吉濃顯影作用較慢。尤其對曝光特別少的部分,作用甚微,但是一經出現影像后,密度會增高很快,因此底片明暗或黑白差別非常大。具有高反差的顯影作用,在使用海多吉濃顯影液時,其溶液的PH值和溫度變化對顯影作用影響很大,所以,使用顯影液應在一定溫度下顯影,以達穩定的目的。它必須在堿性顯影液中才能顯影,在PH值為9.5~11范圍使用較好,PH值越大即堿性越是增強,底片的密度和反差越大。顯影液的溫度如果低于10℃時,顯影作用非常緩慢,溫度很低時,幾乎不起顯影作用,但是如果溫度高于20℃時,顯影雖然快,但使底片很容易產生蒙翳。因此,使用時溫度應在較穩定的范圍內,它常與米吐爾合用,取長補短,從而達到了正確的顯影目的,在與米吐爾合用時,稱它們為M—Q顯影液。 [2
洗片機配有藥液循環系統,以使槽中藥液在不斷的循環過程中得到過濾﹑調溫和補充,以保持正常加工中藥液所必需的成分﹑濃度和溫度恒定。電子溫度調節器可將顯影液溫度保持在±0.1℃,其它藥液為±1℃。補充液可通過流量計或計量泵定量或過量補充,也可采用與膠片通過長度成比例的批量自動補充方式補充。通常對各種藥液定時采樣作化學分析,以檢查其成分是否準確,并定時沖洗控制光楔,用感光測定來復查藥液狀況。藥液和膠片之間需要有不間斷的相對運動以保證藥液的活性并促進化學反映,這樣才能保證顯影均勻。通常在槽內片環架上裝有噴管,藥液以扇面射向膠片乳劑面。也有的機器在槽內安裝攪拌器,以強力攪拌代替噴射。同時具備二次水洗功能。
片傳動方式基本分為兩類:齒輪傳動:膠片在洗片機輸片片路中,大都由自由轉動的滑輪組支承并在滑輪間螺旋穿行,由滑輪組配備的傳遞動力的輸片齒輪通過影片片孔硬性傳動。這種方法結構簡單,容易保證張力均勻分布。摩擦傳動:用表面有凸起物的彈性塑料圈外套的摩擦輪帶動影片,摩擦輪的轉速由膠片張力自行調節。摩擦傳動不用齒輪,同一臺機器可以沖洗窄寬不同的多種規格的膠片,并且不會損傷片孔,因此用途極為***。機器具有速度誤差在±2%以內的無級調速裝置,供改變顯影時間之需要。在緊鄰供收片處有儲片緩沖裝置,因此在運行不間斷的狀態下,可在機器頭尾卡住膠片,收取沖洗完畢的影片和續接尚未沖洗的影片。用手感覺水壓,有力,保證水洗充分。蘇州定制涂膠顯影機銷售電話
根據印版的厚度范圍調節各膠輥之間的壓力,保證無竄液或竄液小。無錫國產涂膠顯影機私人定做
壓力調整1、調整膠輥壓力根據印版的厚度范圍調節各膠輥之間的壓力,保證無竄液或竄液小顯影/水洗、水洗/涂膠、涂膠/烘干,版每次從兩膠輥出來都是干凈的調節上膠輥之間的壓力,可調節上膠的厚薄,保證上膠膠輥的硬度適應于印版,在保證上述要求的情況下,壓力盡可能小,壓力過大,增大顯影機負載,并易卡版2、調整刷輥壓力毛刷干凈柔韌,無毛刺,不劃傷版面根據測試結果調節壓力,保證網點還原壓力盡可能小,壓力大版材難通過,實地和小網點容易損失毛刷輥旋轉方向與版材前進方向相逆,有利于顯影效果無錫國產涂膠顯影機私人定做
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