激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分，分別經過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟：激光發射：激光器發出單色光束。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播：參考光束和測量光束分別經過不同的路徑，可能會經過被測物體或介質。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。虎丘區銷售雙頻激光干涉儀銷售廠

若干涉條紋發生移動，一定是場點對應的光程差發生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發生變化，或是光路中某段介質的折射率n發生了變化，或是薄膜的厚度e發生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。江蘇定制雙頻激光干涉儀產品介紹雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進行干涉測量的儀器。

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。光程傳播：參考光束和測量光束分別經過不同的路徑，可能會經過被測物體或介質。

環境適應力強：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大，即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用，也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態測速高：現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態測量。三、應用領域幾何量精密測量：用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機械），也可對手表零件等微米級運動進行測量。激光發射：激光器發出單色光束。高新區銷售雙頻激光干涉儀產品介紹

接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。虎丘區銷售雙頻激光干涉儀銷售廠

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg虎丘區銷售雙頻激光干涉儀銷售廠

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