按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級(jí)由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱2...
若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞，則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān)；取出被阻塞的所述過濾器。在一些實(shí)施例中，所述若所述過...
光刻膠殘留大，殘留分布不均勻，并且產(chǎn)生邊緣聚集殘留。為了能夠進(jìn)一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對(duì)比，圖2中將多張單張檢測(cè)圖...
本實(shí)用新型涉及光刻膠生產(chǎn)設(shè)備，具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術(shù)：光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，其是由溶劑...
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司成立于1999年，公司座落于蘇州市高新區(qū)化工工業(yè)園，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的大型精細(xì)化工企業(yè)，主要為先進(jìn)半導(dǎo)體封裝測(cè)試、TFT、FPD平板顯示、LED、晶體硅太陽能、PCB等行業(yè)提供專業(yè)的化學(xué)品解決方案。努力構(gòu)建面向未來的創(chuàng)新型和學(xué)習(xí)型企業(yè)。博洋股份于2015年11月在全國(guó)中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)成功掛牌。 （證券代碼：834329）
