產品描述:真空干燥箱,是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內形成真空狀態,降低水的沸點,加快干燥的速度。特點:1、長方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀察工作室內物體,一目了然。3、箱體閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產品經久耐用。5、儲存、加熱、試驗和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環境里進行,所以不會氧化。真空程序分段控制該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,根據客戶要求編輯設定真空值,保壓時間值。可實現多段抽真空和保壓編程。...
下面為大家簡單介紹一下潔凈烘箱 箱體結構: 1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2 進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。 2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。 3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,防止了熱能浪費。 4電熱部分:采用覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發生器 5風道部分:整體結構...
真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜。潔凈節能氮氣柜的溫濕度記錄功能:2.5.1內建內存,可儲存溫度/濕度,收集時間1~240分鐘可自行設定。2.5.2可利用RS232連接阜下載至計算機中讀取。2.5.3品管記錄格式設計,有助于內部記錄追蹤并可支持數據庫檔案格式。潔凈節能氮氣柜的濕度警報系統:1.6.1可設定啟動警報的濕度值及條件,內配蜂鳴器(90分貝)及閃爍警示功能1.6.2可...
1、本烘箱由室體、加熱系統、電氣控制系統、送風系統、保護系統等組成。2、箱體采用先進設備制作、業內的制造工藝流程、線條流暢、美觀大方。3、工作室材質為不銹鋼、外箱材質為優良冷軋鋼板,產品外殼使用環保金屬漆噴制,整體設計美觀大方,適合較好實驗室的顏色搭配。4、工作室內的擱架不可調節。5、工作室與外箱之間的保溫材質是優良超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內,高性能的絕緣結構。從內到外有內腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內膽熱量損失少。內膽外箱及門膽結構獨特,極大減少了內腔熱量的外傳。6、門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結構,密封、耐高溫性、抗老...
潔凈烘箱,本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。箱體結構:1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。3保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了...
產品名稱:潔凈烘箱產品介紹:本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。技術指標:1無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4溫度精確度:±1℃(空箱測試)5設備型號規格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700...
真萍科技電腦式潔凈節能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。氮氣監控系統:1.1、2.3”LED大屏幕數字顯示濕度/溫度。1.2、溫濕度顯示值0.1%-99.9%RH,溫度顯示值0.1℃-60.0℃。1.3、溫濕度收集采準確傳感器,長距離傳輸無誤差。1.4、濕度控制:2.4.1利用濕度設定值來控制氮氣流入,到達濕度設定值即停止進氣,節省氮氣耗用。2.4.2濕度在1%-60%RH可調整。1.5、溫濕度記錄功能:2.5.1內建內存,可儲存溫度/濕度,收集時...
HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。 增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著...
連續爐即是連續作業爐,是指連續地或間歇地裝料,工件在爐內不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。連續作業爐可借助某些機械機構連續地或間歇地進行裝料和出料,連續順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區完成加熱過程。使用連續作業爐可提高產品質量,提高勞動生產率和改善勞動條件。1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制溫度之精細度;2、分段控制(當到達設定溫度時可任意關掉其中幾段發熱管,降低加熱功率,其達到省電效果)。工業烤箱,有哪些好處值得選擇?不銹鋼工業烤箱溫度不均勻下面為大家介紹一下高溫無氧固化烘箱。無氧干燥箱應用于航空、航天...
工業烤箱的熱風循環系統由送風馬達、風輪和電熱器組成,在送風機的作用下由進風口送冷風(即外界空氣),經風路系統流入到送風機環節,送風機再把冷空氣經風輪、蝸殼、等分風系統送風到正在加熱的電熱器上,出來的便是熱風。熱風經過風路系統進入到工業烤箱內箱體進而形成各路風路,進行水平或垂直等送風到各個角落,從而使各位置點的溫度達到一致,繼而不斷的在工業烤箱內進行熱風的交替循環,把物體加熱固化。通過數顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環送風方式,熱風循環系統分為水平式和垂直式。工業烤箱使用時要考慮什么問題?江蘇工業烤箱的價格和照片HMDS真空烤箱主要技術指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹...
電腦式潔凈節能氮氣柜主要應用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。過濾系統:2.1EBM電子式EC馬達控制無塵室FFU。2.2鏡面不銹鋼結構體。2.3特殊導流風道設計,風壓平均,可有效提供風量,降低噪音。2.4電路板控制模塊,提供安全保護裝置,運轉異常指示燈及控制干接點輸出。2.5無段式風量調速器可任意調整風量大小。2.6濾網ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。2.7電力規格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。合肥真萍告訴您什么是...
工業烤箱,顧名思義,是在工業生產上用的的烤箱。在不同行業,不同的場所,在名稱的叫法上不一樣,比如:工業烘箱,干燥箱等。工業烤箱用途多:適用于烘烤有化學性氣體及食品加工行業的欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。使用于電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預熱、定型、加工等。質量連續爐的適用范圍:連續爐即是連續作業爐,是指連續地或間歇地裝料,工件在爐內不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。你知道工業烤箱的特點嗎?小型工業烤箱圖片HMDS預處理系統的必要性:在半導...
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節2.排氣系統在爐膛頂部設置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低...
HMDS真空烤箱主要技術指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優良材料制造,無發塵材料,適用100級...
溫濕度振動三綜合試驗箱簡介:廣泛應用在對電工電子、家用電器、汽摩配件、化工涂料、航天、航空、石油、化工、電子、通訊、及其它相關產品零部件及材料進行高低溫、恒定、交變濕熱及振動沖擊綜合試驗,并與單一因素作用相比更能真實地反映電工電子產品在運輸和實際使用過程中對溫濕度及振動復合環境變化的適應性,暴露產品的缺點,是新產品研制、樣機試驗、產品合格鑒定試驗全過程必不可少的重要試驗手段。 三綜合試驗是指綜合溫度、濕度、振動三個環境應力的試驗,具有極寬大的溫濕度控制范圍,可滿足用戶的各種需要采用獨特的平衡調溫調濕方式,可獲得安全、精確的溫濕度環境。同時可在三綜合試驗箱內將電振動應力按規定的周...
下面為大家簡單介紹一下潔凈烘箱本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423相關要求制造的,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。技術指標:1無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4溫度精確度:±1℃(空箱測試)5設備型號規格:450*450*450450*600*450600*800*600600*700*600;700*900*700;700*1000...
工業烤箱,顧名思義,是在工業生產上用的的烤箱。在不同行業,不同的場所,在名稱的叫法上不一樣,比如:工業烘箱,干燥箱等。工業烤箱用途多:適用于烘烤有化學性氣體及食品加工行業的欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。使用于電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預熱、定型、加工等。質量連續爐的適用范圍:連續爐即是連續作業爐,是指連續地或間歇地裝料,工件在爐內不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。工業烤箱的運用領域有哪些呢?立式工業烤箱價格多少高溫無氧固化烘箱用途介紹:...
可靠的測控系統1溫度控制裝置:進口溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置:采用六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。完善的控制系統,及安全防護措施1操作控制系統,采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統控制,更快速,更穩定。2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護,漏電保護,及電磁門禁保護等上海哪家的工業烤箱比較好?定制工業烤箱保養中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3...
HMDS真空烤箱整機尺寸、真空腔體尺寸:1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時...
本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。技術指標:可靠的測控系統1溫度控制裝置:進口溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置:采用六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。完善的控制系統,及安全防護措施1操作控制系統,采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統控制,更快速,更穩定。2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護...
工業烤箱的熱風循環系統由送風馬達、風輪和電熱器組成,在送風機的作用下由進風口送冷風(即外界空氣),經風路系統流入到送風機環節,送風機再把冷空氣經風輪、蝸殼、等分風系統送風到正在加熱的電熱器上,出來的便是熱風。熱風經過風路系統進入到工業烤箱內箱體進而形成各路風路,進行水平或垂直等送風到各個角落,從而使各位置點的溫度達到一致,繼而不斷的在工業烤箱內進行熱風的交替循環,把物體加熱固化。通過數顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環送風方式,熱風循環系統分為水平式和垂直式。工業烤箱可以去哪里購買?恒溫工業烤箱1、采用智能型溫度控制模塊,PID自動演算,LED顯示,配合SSR大功率可控硅輸出,能控制...
超高真空烘箱一、本產品廣泛應用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產單位。確定儀器儀表、電工產品、材料、零部件、設備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環境適應性與可靠性試驗.二、主要技術指標:1、工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2、溫度波動度:±1.0℃(空載);3、溫度偏差:常壓溫度試驗:常溫~200℃時±2℃200~300℃時±5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時±2.0℃,100℃~200℃時±5.0℃200℃~300℃時±7.0℃4、升降溫速率:升溫時間:①常壓時:90min(常溫~+260℃)②低氣壓0...
工業烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業烤箱內部的溫度值,在通過控制系統進行操作。工業烤箱的熱風循環加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業烤箱內物料的干燥速度。工業烤箱的熱風循環系統由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經過電熱設備加熱攜帶熱能后經風道進入工業烤箱的烘箱工作室。工業烤箱的熱風循環系統有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業烤箱開關箱門運送物料的過程中,溫度值會受到影響發生變動,熱風循環系統的均勻性則有利于在比較大快速度內恢復工作狀態的溫度值。工業烤箱如何發揮重要作用?合肥真萍告訴您。淮北精密工業烤箱工業烤箱的熱風循環系統...
本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。技術指標:可靠的測控系統1溫度控制裝置:進口溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置:采用六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。完善的控制系統,及安全防護措施1操作控制系統,采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統控制,更快速,更穩定。2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護...
工業烤箱的熱風循環系統有利于提高空氣溫度的均勻性,在工業烤箱開關箱門運送物料的過程中,溫度值會受到影響發生變動,熱風循環系統的均勻性則有利于在比較大快速度內恢復工作狀態的溫度值。工業烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業烤箱內部的溫度值,在通過控制系統進行操作。工業烤箱的熱風循環加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業烤箱內物料的干燥速度。工業烤箱的熱風循環系統由送風馬達、風輪和電熱器組成,送風馬達帶動風輪送出冷風,冷風經過電熱設備加熱攜帶熱能后經風道進入工業烤箱的烘箱工作室。工業烤箱的作用是什么?合肥真萍告訴您。小型工業烤箱手柄工作原理:空氣循環系統采用...
箱體結構:1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2 進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。3保溫材料:采用正廠**玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,防止了熱能浪費。4電熱部分:采用覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發生器。5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設...
一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節2.排氣系統在爐膛頂部設置一個排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態氧含量≤50ppm+氣源氧含量。工業烤箱運用再哪些領域?工業烤箱溫度不均勻下面為大家...
中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度±1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度±6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統1.爐膛氣氛2路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節2.排氣系統在爐膛頂部設置一個排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態氧含量≤10ppm+氣源氧含量6....
石墨盤烤盤爐 一.產品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。 二、設計特點 1、后門設計熱風電機 2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的 三、技術指標 1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃; 2...
HMDS真空烤箱主要技術指標:1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優良材料制造,無發塵材料,適用100級...