用交叉驗(yàn)證的目的是為了得到可靠穩(wěn)定的模型。在建立PCR 或PLS 模型時(shí)，一個(gè)很重要的因素是取多少個(gè)主成分的問(wèn)題。用cross validation 校驗(yàn)每個(gè)主成分下的PRESS值，選擇PRESS值小的主成分?jǐn)?shù)。或PRESS值不再變小時(shí)的主成分?jǐn)?shù)。常用的精度測(cè)試方法主要是交叉驗(yàn)證，例如10折交叉驗(yàn)證(10-fold cross validation)，將數(shù)據(jù)集分成十份，輪流將其中9份做訓(xùn)練1份做驗(yàn)證，10次的結(jié)果的均值作為對(duì)算法精度的估計(jì)，一般還需要進(jìn)行多次10折交叉驗(yàn)證求均值，例如：10次10折交叉驗(yàn)證，以求更精確一點(diǎn)。將數(shù)據(jù)集分為訓(xùn)練集和測(cè)試集，通常按70%/30%或80%/20%的比例劃分。靜安區(qū)直銷驗(yàn)證模型要求

模型檢測(cè)的基本思想是用狀態(tài)遷移系統(tǒng)(S)表示系統(tǒng)的行為，用模態(tài)邏輯公式(F)描述系統(tǒng)的性質(zhì)。這樣“系統(tǒng)是否具有所期望的性質(zhì)”就轉(zhuǎn)化為數(shù)學(xué)問(wèn)題“狀態(tài)遷移系統(tǒng)S是否是公式F的一個(gè)模型”，用公式表示為S╞F。對(duì)有窮狀態(tài)系統(tǒng)，這個(gè)問(wèn)題是可判定的，即可以用計(jì)算機(jī)程序在有限時(shí)間內(nèi)自動(dòng)確定。模型檢測(cè)已被應(yīng)用于計(jì)算機(jī)硬件、通信協(xié)議、控制系統(tǒng)、安全認(rèn)證協(xié)議等方面的分析與驗(yàn)證中，取得了令人矚目的成功，并從學(xué)術(shù)界輻射到了產(chǎn)業(yè)界。普陀區(qū)自動(dòng)驗(yàn)證模型要求分類任務(wù)：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線和AUC值等。

實(shí)驗(yàn)條件的對(duì)標(biāo)首先，要將模型中的實(shí)驗(yàn)設(shè)置與實(shí)際的實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行對(duì)標(biāo)，包含各項(xiàng)工藝參數(shù)和測(cè)試圖案的信息。其中工藝參數(shù)包含光刻機(jī)信息、照明條件、光刻涂層設(shè)置等信息。測(cè)試圖案要基于設(shè)計(jì)規(guī)則來(lái)確定，同時(shí)要確保測(cè)試圖案的幾何特性具有一定的代表性。光刻膠形貌的測(cè)量進(jìn)行光刻膠形貌測(cè)量時(shí)，通常需要利用掃描電子顯微鏡（SEM）收集每個(gè)聚焦能量矩陣（FEM）自上而下的CD、光刻膠截面輪廓、光刻膠高度和側(cè)壁角 [3]，并將其用于光刻膠模型校準(zhǔn)，如圖3所示。

性能指標(biāo)：根據(jù)任務(wù)的不同，選擇合適的性能指標(biāo)進(jìn)行評(píng)估。例如：分類任務(wù)：準(zhǔn)確率、精確率、召回率、F1-score、ROC曲線和AUC值等?；貧w任務(wù)：均方誤差（MSE）、均***誤差（MAE）、R2等。學(xué)習(xí)曲線：繪制學(xué)習(xí)曲線可以幫助理解模型在不同訓(xùn)練集大小下的表現(xiàn)，幫助判斷模型是否過(guò)擬合或欠擬合。超參數(shù)調(diào)優(yōu)：使用網(wǎng)格搜索（Grid Search）或隨機(jī)搜索（Random Search）等方法對(duì)模型的超參數(shù)進(jìn)行調(diào)優(yōu)，以找到比較好參數(shù)組合。模型比較：將不同模型的性能進(jìn)行比較，選擇表現(xiàn)比較好的模型。外部驗(yàn)證：如果可能，使用**的外部數(shù)據(jù)集對(duì)模型進(jìn)行驗(yàn)證，以評(píng)估其在真實(shí)場(chǎng)景中的表現(xiàn)?；貧w任務(wù)：均方誤差（MSE）、誤差（MAE）、R2等。

***，選擇特定的優(yōu)化算法并進(jìn)行迭代運(yùn)算，直到參數(shù)的取值可以使校準(zhǔn)圖案的預(yù)測(cè)偏差**小。模型驗(yàn)證模型驗(yàn)證是要檢查校準(zhǔn)后的模型是否可以應(yīng)用于整個(gè)測(cè)試圖案集。由于未被選擇的關(guān)鍵圖案在模型校準(zhǔn)過(guò)程中是不可見(jiàn)，所以要避免過(guò)擬合降低模型的準(zhǔn)確性。在驗(yàn)證過(guò)程中，如果用于模型校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案的預(yù)測(cè)精度不足，則需要修改校準(zhǔn)參數(shù)或參數(shù)的范圍重新進(jìn)行迭代操作。如果關(guān)鍵圖案的精度足夠，就對(duì)測(cè)試圖案集的其余圖案進(jìn)行驗(yàn)證。如果驗(yàn)證偏差在可接受的范圍內(nèi)，則可以確定**終的光刻膠模型。否則，需要重新選擇用于校準(zhǔn)的關(guān)鍵圖案并重新進(jìn)行光刻膠模型校準(zhǔn)和驗(yàn)證的循環(huán)。根據(jù)任務(wù)的不同，選擇合適的性能指標(biāo)進(jìn)行評(píng)估。青浦區(qū)直銷驗(yàn)證模型熱線

對(duì)有窮狀態(tài)系統(tǒng)，這個(gè)問(wèn)題是可判定的，即可以用計(jì)算機(jī)程序在有限時(shí)間內(nèi)自動(dòng)確定。靜安區(qū)直銷驗(yàn)證模型要求

因?yàn)樵趯?shí)際的訓(xùn)練中，訓(xùn)練的結(jié)果對(duì)于訓(xùn)練集的擬合程度通常還是挺好的（初始條件敏感），但是對(duì)于訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的擬合程度通常就不那么令人滿意了。因此我們通常并不會(huì)把所有的數(shù)據(jù)集都拿來(lái)訓(xùn)練，而是分出一部分來(lái)（這一部分不參加訓(xùn)練）對(duì)訓(xùn)練集生成的參數(shù)進(jìn)行測(cè)試，相對(duì)客觀的判斷這些參數(shù)對(duì)訓(xùn)練集之外的數(shù)據(jù)的符合程度。這種思想就稱為交叉驗(yàn)證（Cross Validation） [1]。交叉驗(yàn)證（Cross Validation），有的時(shí)候也稱作循環(huán)估計(jì)（Rotation Estimation），是一種統(tǒng)計(jì)學(xué)上將數(shù)據(jù)樣本切割成較小子集的實(shí)用方法，該理論是由Seymour Geisser提出的。靜安區(qū)直銷驗(yàn)證模型要求

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