極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術,其波長為13.5納米,預計將于2021年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收,因此,EUV光刻機的光學系統只有使用反光鏡。我們上海微聯實業的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結構使其可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數接近。,降低其膨脹系數不匹配的影響,可以避免了光機系統材料膨脹系數不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統參數長期穩定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學系統成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應用中有良好的性價比。微晶鋁合金材料的韌性高。光電設備微晶鋁合金分類
RSP鋁合金密度小,強度高,韌性高,高的導熱率和高導電率,高耐磨性,耐腐蝕性好,加工方便,精加工性能好。在航空航天,機械制造,工業半導體等有有大量應用。RSA-905適合精拋光加工,具有表面平整度好,成型后穩定性能高,熱膨脹系數低,高的導熱率,無需表面渡層。可以應用于反射鏡和光學透鏡模具。RSA-443熱穩定性和機械性能高,具有優越的可加工性,比剛度高,導熱系數高,熱膨脹系數低,成型后穩定性高。可以應用于高精密工業半導體部件。光電設備微晶鋁合金分類可以超精密加工的微晶鋁合金。
普通鋁合金冷卻速度慢帶來材料內部產生粗大的枝晶,熱應力失衡。造成表面不平整,熱膨脹系數大。RSP微晶鋁合金采用的是快速冷凝法,使的兩種不同金屬形成均質的合金,使晶粒大小分布均勻。這樣使得鋁合金表面平整度高,獲得更高的強度和韌性。因為是硅鋁合金,還很好的綜合了兩種金屬的特點。高耐磨性能和精加工性能。同時材料的抗疲勞性能也得到提高。RSP鋁合金應用在電子半導體領域,可以做出復雜結構,高導熱性,散熱性能好,熱膨脹系數低,表面可以渡層。RSP鋁合金在航空航天工業領域中,在結構件制造中,具有整體重量輕,強度高,韌性高,耐磨,熱膨脹系低,抗冷熱沖擊。表面易處理,可以得到高平整度表面。
RSP鋁合金可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環境下,RSP鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數接近。,降低其膨脹系數不匹配的對整體設備的影響,可以避免了光機系統材料膨脹系數不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統參數長期穩定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。~~~~~可以制造光學模具的微晶鋁合金。
微晶鋁合金一種用于高性能金屬光學的新的方法,特別是在極端情況下環境條件,因為它們通常可能發生在陸地和太空應用中。而對于紅外應用金剛石車削鋁是優先的鏡面基底,它不足以滿足視覺范圍。適用于近紅外波長(0.8μm–2.4μm)和低溫溫度(-200°C)下的應用對于金剛石車削基底,*部分滿足要求。在這種情況下,諸如具有高形狀精度和小表面微粗糙度的光學表面,沒有衍射效應和邊緣損耗對雜散光的研究引起了極大的興趣。這種新穎的專利材料組合與鋁合金的熱膨脹系數(CTE)相匹配以高硅含量(AlSi,Si≥40%)為鏡面基底,采用化學鍍鎳(NiP)的CTE。除了協調CTE(~13*10-6K-1)外,由于其高比這些材料的剛度。因此,這種合金還滿足了一個額外的要求:它是制造非常穩定的輕型金屬反射鏡。為了實現因雙金屬效應而產生的**小形狀偏差.鋁合金RSA-905微晶鋁合金。如何發展微晶鋁合金誠信推薦
上海微聯的微晶鋁合金怎么樣?光電設備微晶鋁合金分類
RSP鋁合金可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數接近。,降低其膨脹系數不匹配的影響,可以避免了光機系統材料膨脹系數不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統參數長期穩定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學系統成像質量高的光滑表面光電設備微晶鋁合金分類