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吉林雙頻激光干涉儀

來源: 發(fā)布時間:2025-06-14

雙頻激光干涉儀不僅具有高精度,還具備普遍的應用范圍。它利用激光的波長作為度量標準,可以對被測長度進行精確測量。在測距過程中,雙頻激光干涉儀通過檢測干涉圖案的變化來推導被測長度。當兩束激光疊加時,它們會產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋,這些條紋的位置取決于兩束激光的相位差。通過測量干涉條紋的位置變化,可以得出被測物體的位移量。雙頻激光干涉儀的這一特性,使其在機械測量、光學測量等領(lǐng)域有著普遍的應用,如檢定量塊、量桿、刻尺和坐標測量機等。此外,雙頻激光干涉儀還可以用于測量角度、直線度、平面度等幾何量,以及振動距離和速度等物理量,為各種測量和監(jiān)測任務提供了強有力的支持。雙頻激光干涉儀內(nèi)置自檢程序,可智能診斷光路準直狀態(tài)。吉林雙頻激光干涉儀

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雙頻激光干涉儀的原理是基于兩束頻率相近的激光進行干涉測量。這種干涉儀通過激光器產(chǎn)生兩列具有不同頻率的線偏振光,通常利用塞曼效應或聲光調(diào)制來實現(xiàn)。這兩束激光,頻率分別為f1和f2,經(jīng)過偏振分光器后被分離為參考光和測量光。參考光保持頻率穩(wěn)定,而測量光則照射到被測物體上,當被測物體移動時,根據(jù)多普勒效應,測量光的頻率會發(fā)生變化,變?yōu)閒1±Δf,其中Δf為多普勒頻移,包含了被測物體的位移信息。隨后,這束頻率變化后的測量光與參考光在干涉儀中匯合,形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|,該信號由光電探測器轉(zhuǎn)換為電信號。這個電信號經(jīng)過電路處理后,通過相位比較或脈沖計數(shù)的方式,可以精確計算出被測物體的位移量。雙頻激光干涉儀的這一原理使其具有高精度和抗干擾能力,即使在光強衰減較大的情況下,依然能得到穩(wěn)定的測量信號。天津雙頻激光干涉儀測量直線度精密導軌生產(chǎn)線上,雙頻激光干涉儀每8小時完成千次自動校準。

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國產(chǎn)雙頻激光干涉儀作為高精度測量領(lǐng)域的佼佼者,近年來在國內(nèi)制造業(yè)中扮演著越來越重要的角色。這類干涉儀采用了先進的雙頻激光技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對微小位移的高精度測量,其測量精度往往能達到納米級別,甚至更高。相較于傳統(tǒng)的單頻激光干涉儀,雙頻激光干涉儀具有更強的抗干擾能力和更高的測量穩(wěn)定性,這使其在半導體制造、精密機械加工、光學元件檢測等多個領(lǐng)域得到了普遍應用。此外,國產(chǎn)雙頻激光干涉儀在設(shè)計上充分考慮了用戶的實際需求,不僅操作簡便,而且維護成本相對較低,這對于提升國內(nèi)制造業(yè)的整體競爭力具有重要意義。隨著技術(shù)的不斷進步和成本的進一步降低,國產(chǎn)雙頻激光干涉儀的市場占有率有望持續(xù)提升。

雙頻激光干涉儀的基本原理是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上,結(jié)合外差干涉技術(shù)發(fā)展而來的。其重要在于雙頻激光器能夠發(fā)出兩列具有不同頻率的線偏振光。這兩束光在經(jīng)過偏振分光器后,按照偏振方向被分離,其中一路作為參考光,另一路則作為測量光。當測量光照射到被測目標鏡并反射回來時,由于多普勒效應,其頻率會發(fā)生變化,這個變化量與被測目標鏡的位移成正比。反射回來的測量光與參考光在干涉鏡中匯合,形成干涉信號。這個干涉信號包含了被測目標鏡的位移信息,通過光電探測器將其轉(zhuǎn)換為電信號,并進一步處理,就可以得到被測物體的位移量。雙頻激光干涉儀與工業(yè)機器人協(xié)同作業(yè),完成復雜曲面三維檢測。

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國產(chǎn)雙頻激光干涉儀的工作原理主要基于兩束頻率相近的激光的干涉現(xiàn)象。這種干涉儀通過特定的技術(shù)手段,如利用塞曼效應或聲光調(diào)制,從激光器中產(chǎn)生兩束頻率分別為f1和f2的激光。這兩束激光經(jīng)過分光鏡后被分為兩路,一路作為參考光,其頻率保持穩(wěn)定;另一路則作為測量光,其頻率會因被測物體的位移而產(chǎn)生多普勒頻移Δf。當測量光經(jīng)移動目標反射后與參考光疊加時,會產(chǎn)生一個差頻信號|(f1 ±Δf) - f2|,這個信號反映了位移引起的頻率變化。通過光電探測器將這一光信號轉(zhuǎn)換為電信號,并經(jīng)過電路處理提取出差頻變化量,就可以通過相位比較或脈沖計數(shù)的方式精確計算出位移量。在粒子加速器中,雙頻激光干涉儀監(jiān)測磁鐵支撐結(jié)構(gòu)的微位移。無錫FLE 光纖激光尺

該設(shè)備配備觸控顯示屏,支持手勢操作簡化復雜參數(shù)設(shè)置流程。吉林雙頻激光干涉儀

5530激光校準系統(tǒng)的工作原理還包括利用精密的光學器件進行多種幾何參量的測量。例如,在機床運行路徑上的多個點進行線性測量,以測量線性位移和速度;在機床工作體積的四個對角線上進行線性測量,以檢查體積定位性能;以及在機床運行路徑的多個點上進行角度測量,以測試圍繞垂直于運動軸的旋轉(zhuǎn)等。這些測量功能使得5530激光校準系統(tǒng)能夠全方面評估機床的性能,包括定位精度、幾何誤差等關(guān)鍵指標。系統(tǒng)還能夠記錄國際標準中的機器性能,為生產(chǎn)經(jīng)理提供每臺機器的已知性能數(shù)據(jù),從而幫助制造商優(yōu)化過程控制,提高生產(chǎn)效率,并降低總體生產(chǎn)成本。這種綜合性的校準解決方案,憑借其獨特的可重復性和可靠性,成為了機床和CMM校準領(lǐng)域選擇的工具。吉林雙頻激光干涉儀

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