世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成；2)利用等離子刻蝕機在高反層109上以干法刻蝕開設刻蝕孔，并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109；3)刻蝕完成后，在高反層109上以化學氣相淀積的方法生長電阻率500～1000ohm·cm的n-外延層，其厚度與耗盡區寬度相當；4)在外延層101上以as離子源進行n型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成保護環102。與保護環102間距12～20um，在外延層101上以b離子源進行p型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成有源區103；5)在保護環102和有源區103上通過熱氧化法生成sio2層104，在sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al，并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107背面直接進行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實施例。實施例11)在n+重摻雜的襯底107上濺射生成厚度3～5um的高反層109，2)利用等離子刻蝕機干法刻蝕工藝在高反層109刻孔；3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。世華高硅光電二極管助你實現智能生活。惠州硅光電二極管特性

    水熱時間為2-12h。地，步驟3所述氮氣保護條件下的煅燒溫度為200-400℃，煅燒時間為1-6h。本發明的有益效果：本發明創造性地利用靜電紡絲技術制備了sr摻雜batio3納米纖維電極，該方法制備過程簡單，便于規模化生產。且所制備的sr摻雜batio3鐵電材料自發極化能力強，在外場環境下產生較強的表面電場，能夠有效的分離znte電極的光生載流子，極大地提高了znte載流子的分離效率，降低了光生載流子的復合速度，從而為**co2還原反應奠定了堅實的基礎。附圖說明圖1為實施例一中制備的sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖。圖2為實施例一中制備的sr摻雜batio3/znte電極的掃描電鏡圖；圖3為實施例二中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極的線性掃描伏安曲線圖；圖4為實施例三中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極在。具體實施方式為了更好的理解本發明，下面結合實施例和附圖進一步闡明本發明的內容，但本發明的內容不局限于下面的實施例。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。蘇州硅光電硅光電二極管特性硅光電二極管電路圖就找世華高！

    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。本發明屬于半導體器件技術領域，涉及一種高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單，響應度峰值波長為940nm，在3dsensor、紅外測距、光通訊等領域有著廣泛的應用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關，波長越長，入射越深，因此為了提高響應度，傳統光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來提升耗盡區寬度，從而達到提高響應度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應用，光電二極管的響應速度要求越來越高，常規硅基光電二極管響應時間為納秒級，已無法滿足數據傳輸率1gbps以上的應用場景，因此。

    4)通過離子注入分別形成n+保護環102和p+有源區103，間距12～20um；5)熱氧化生成sio2層104)，sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻掉si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構。硅光電二極管電路哪家好？世華高。

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    設置靜電紡絲工藝參數：注射器推進速度3mm/h，紡絲電壓20kv，接收距離8cm，滾筒轉速200r/min，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復合纖維，150℃烘箱中干燥過夜，烘干后置于550℃馬弗爐中煅燒2h，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；配制30ml濃度為、，攪拌均勻，轉入50ml水熱反應釜中。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。將sr摻雜batio3薄膜電極放入反應釜內，fto導電面朝下，密封水熱反應釜，置于恒溫干燥箱中，180℃水熱反應6h；反應結束，取出fto電極，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，將薄膜放入管式爐內，氮氣保護條件下煅燒，控制煅燒溫度為300℃，煅燒時間為3h，即可得sr摻雜batio3/znte光電極。惠州硅光電二極管特性