本發明具有以下有益的技術效果：本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，通過適當減小耗盡區寬度和減小擴散區電阻率，耗盡區寬度減小導致響應度的降低，本發明通過增加高反層使得光子在耗盡區中二次吸收來補償；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；由于擴散區(耗盡區以外的區域)材料電阻率很低，擴散區阻抗很小，因此擴散時間很短；從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴散區電阻，縮短了擴散時間；而高反層的設置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴散區的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發明的結構圖示意圖；圖2為本發明的等效電路示意圖；圖3為本發明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結構高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發明的逐層制備示意圖。圖6為本發明的硅基光電二極管的響應度測試曲線；圖7為本發明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅光電二極管哪家好？世華高好？肇慶進口硅光電二極管特性

硅光二極管是一種基于硅材料的光電子器件，具有將光信號轉換為電信號的功能。其工作原理基于光電效應，當光照射到硅光二極管的PN結上時，光子能量被硅原子吸收，導致PN結中的電子被激發出來，形成光電流。這種器件在光通信、光探測和光傳感等領域具有廣泛應用，是實現光電轉換的關鍵元件之一。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。中山光電硅光電二極管世華高硅光電二極管讓你體驗許多功能。

提高硅基光電二極管響應速度變得越來越迫切。高阻材料雖然可以提高響應度，同時它也會引入三個方面的缺點：一是耗盡區寬度變寬，使得光生載流子漂移時間變長，響應速度變慢；二是耗盡區變寬，需要材料厚度相應的變厚，而對于某些應用場景，需要芯片厚度在150um左右，這種情況下，寬耗盡區并未帶來響應度的明顯提升；三是由于材料為高阻材料，擴散區電阻率太高，導致擴散時間變長，從而導致響應速度變慢。可以看出，為了得到高響應度，材料厚度需要做厚，電阻率選用高阻；為了得到高響應速度。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。材料厚度盡量薄，電阻率盡量低；這樣就很難實現兩者的兼顧。

硅光二極管的響應時間也是其性能的重要指標之一。在高速光通信系統中，需要選擇具有快速響應時間的硅光二極管，以確保信號的準確傳輸和處理。隨著技術的不斷進步，硅光二極管的響應時間已經越來越短，為高速光通信技術的發展提供了有力保障。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。隨著生產規模的不斷擴大和產品種類的豐富，公司的銷售業績穩步提升。硅光電二極管方案商，一站式服務商世華高。

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。所述方法由以下步驟組成：1)以乙酸鋇、乙酸鍶和鈦酸四丁酯為原料，溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中，加入質量分數為10-30％的聚乙烯吡絡烷酮，攪拌24h，得到紡絲溶液；2)采用靜電紡絲機制備sr摻雜batio3納米纖維薄膜電極：將步驟1所述紡絲溶液加入到10ml注射器中，設置一定的靜電紡絲工藝參數，在固定于滾筒上的fto玻璃上接收固化的復合纖維，150℃烘箱中干燥過夜，烘干后置于馬弗爐中煅燒一定時間，熱分解后即可獲得sr摻雜batio3薄膜電極；3)采用水熱法制備sr摻雜batio3/znte光電極：配制一定濃度的硝酸鋅、碲酸鈉和硼氫化鈉的混合水溶解，攪拌均勻，后轉入50ml水熱反應釜中；將步驟2所述sr摻雜batio3薄膜電極放入反應釜內，fto導電面朝下，密封后置于恒溫干燥箱中水熱反應一定時間。世華高硅光電二極管讓你體驗許多智能化功能！天津濱松硅光電二極管特性

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其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。因此擴散時間很短；從而實現硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。該結構中，襯底材料107不用進行背面處理，直接與金屬形成良好的歐姆接觸；外延層厚度取決于耗盡區寬度。進一步的，所述外延層101的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層101厚度wepi根據耗盡區寬度wd確定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入為入射光入射深度，λ為入射光波長；所述的高反層109由折射率～～；高反層109上開設的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔，或者為同心環形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時，孔直徑為10～50um，孔間距為15～50um，圓形孔的總面積為結面積的1/2；所述的刻蝕孔為同心環形孔時，同心環中心與正面金屬電極106的中心重合，同心環中心為刻蝕區，相鄰環間距5～20um。具體的，高反層109可以為多孔結構，可采用矩陣排列(比如采用正方形陣列排列)。肇慶進口硅光電二極管特性