激光干涉儀以其優異的亞納米精度和精密度普遍應用于光學表面的評價，在精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應具備的基本組構。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。當激光測量系統與運動軸未準直時，余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加，誤差也跟著明顯增加。激光干涉儀有哪些種類？南京數控軸精度激光干涉儀加工設計

現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。精密測量激光干涉儀設計激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關。

激光干涉儀的使用方法：開機：接通電源打開電源開關，1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩定)。光路調整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測：調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸，(建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座)放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現干涉條紋，條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。

激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀的使用注意事項：儀器應保持干燥。安徽專業激光干涉儀

激光干涉儀哪種質量比較好？南京數控軸精度激光干涉儀加工設計

多功能激光干涉儀：主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號，如測量光強和電壓隨時間變化的波形。因為它的響應速度極快，是微微秒(Ps)量級。所以，它非常適用于超快變電場和超短光脈沖信號變化的測量。已有技術主要有兩個方面。一是普通干涉儀，如一九八七年機械工業出版社出版的“剪切干涉儀及其應用”一書中描述的干涉儀，可用來做多樣的測量工作，但它既不能像示波器一樣示波顯示電信號的波形，也不能示波顯示光信號、磁信號的波形。雖然能示波顯示電信號和光信號的波形，但不能示波顯示其他如磁信號的波形等。而且，這些測量系統內不含有干涉系統。南京數控軸精度激光干涉儀加工設計