影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀的使用注意事項：激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人使用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法。安徽機床設備激光干涉儀

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。湖南機床誤差修正激光干涉儀激光干涉儀在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測。

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。

激光干涉儀初步調整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調整精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調整“整體”，再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續調整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程，往往幾次即可達到準直要求。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快的特點。

激光干涉儀以干涉技術為關鍵，其光波可直接對米進行定義。激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；支持手動或自動進行環境補償。軟件強：友好的人機界面；豐富的應用功能模塊；向導式的操作流程；簡潔化的記錄管理；支持中文、英文和俄文界面；支持企業專屬模板定制。激光干涉儀可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線。東莞機床設備激光干涉儀

激光干涉儀有哪些種類？安徽機床設備激光干涉儀

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。安徽機床設備激光干涉儀