高效HJT電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優(yōu)點沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；缺點：常規(guī)平面磁控濺射技術靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進行，金屬離化率較低。反應等離子體沉，RPD優(yōu)點：對襯底的轟擊損傷小；鍍層附著性能好，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過渡區(qū)較寬，應用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。光伏異質結電池PVD設備連續(xù)完成正背面TCO鍍膜，產能高。廣州HJT異質結PECVD

異質結電池具備光電轉化效率提升潛力高、更大的降成本空間、更高的雙面率、可有效降低熱損失、更低的光致衰減、制備工藝簡單等特點，為光伏領域帶來了新的希望。釜川（無錫）智能科技有限公司，以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設備的交付服務。鄭州高效硅異質結銅電鍍產線異質結電池具有環(huán)保、可持續(xù)的特點，能夠為未來的可持續(xù)發(fā)展做出重要貢獻。

高效異質結電池整線設備，HWCVD 1、熱絲化學氣相沉積(HotWireCVD，HWCVD)是利用高溫熱絲催化作用使SiH4分解來制備非晶硅薄膜，對襯底無損傷，且成膜質量非常好，但鍍膜均勻性較差，且熱絲作為耗材，成本較高；2、HWCVD一般分為三個階段，一是反應氣體在熱絲處的分解反應，二是基元向襯底運輸過程中的氣相反應，第三是生長薄膜的表面反應。PECVD鍍膜均勻性較高，工藝窗口寬，對襯底損傷較大。HWCVD是利用高溫熱絲催化作用使SiH4分解來成膜，對襯底無損傷，且成膜質量好，但鍍膜均勻性較差且成本較高。

釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質結電池整線制造解決方案已實現(xiàn)設備國產化，該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽能電池的轉換效率、良率和產能，并極大降低了生產成本。釜川以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品，打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊，憑借技術競爭力，在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面的有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供優(yōu)質的整線工藝設備的交付服務。異質結電池PECVD電源以RF和VHF為主。

光伏異質結的效率提高可以從以下幾個方面入手：1.提高光吸收率：通過優(yōu)化材料的能帶結構和厚度，增加光吸收的有效路徑，提高光吸收率，從而提高光電轉換效率。2.提高載流子的收集效率：通過優(yōu)化電極結構和材料，減小電極與半導體之間的接觸電阻，提高載流子的收集效率，從而提高光電轉換效率。3.降低復合損失：通過控制材料的缺陷密度和表面狀態(tài)，減少載流子的復合損失，從而提高光電轉換效率。4.提高光電轉換效率：通過優(yōu)化材料的能帶結構和電子結構，提高光電轉換效率，從而提高光伏異質結的效率。5.提高光伏電池的穩(wěn)定性：通過優(yōu)化材料的穩(wěn)定性和耐久性，提高光伏電池的使用壽命和穩(wěn)定性，從而提高光伏異質結的效率。異質結電池主工藝之一：PVD設備。鄭州高效硅異質結銅電鍍產線

光伏異質結技術的廣泛應用能夠推動光伏產業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展，促進科技進步和經濟增長。廣州HJT異質結PECVD

質結電池TCO薄膜的方法主要有兩種：RPD（特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜)；l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導電膜層，通過該層薄膜實現(xiàn)導電、減反射、保護非晶硅薄膜的作用，同時可以有效地增加載流子的收集；l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列，如ITO（錫摻雜In2O3，@PVD濺射法）、IWO（鎢摻雜In2O3，@RPD方法沉積）等。HJT電池具備光電轉化效率提升潛力高、更大的降成本空間。零界高效異質結電池整線解決方案，實現(xiàn)設備國產化，高效高產PVD DD CVD。廣州HJT異質結PECVD