常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。真空計如何選型與使用?南京mems真空計公司
真空計的特點7.多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統連接。數字信號:如RS485、Modbus,支持數字化管理和遠程監控。8.可靠性與穩定性長期穩定:高質量真空計具有長期穩定性,減少校準頻率。抗干擾:在復雜環境中,真空計能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經濟實惠:部分真空計成本較低,適合預算有限的應用。長期成本低:低維護和校準需求,降低長期使用成本。10.廣泛應用工業應用:如半導體制造、真空鍍膜、真空爐等。科研實驗:如高能物理、材料科學、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫療設備等。總結真空計具有寬量程、高精度、快速響應、環境適應性強、多種測量原理、易于安裝與維護、多種信號輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應用等特點。這些特點使其在工業、科研和日常生活中發揮重要作用。皮拉尼真空計生產廠家為什么真空計讀數不變?
真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時,這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,例如:利用力學性能的真空計:如波爾登真空計和薄膜電容規,它們通過測量氣體對某種力學元件(如薄膜)的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規和冷陰極電離規,它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。
由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境,只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態下的氣體稀薄程度。若所測設備內的壓強低于大氣壓強,其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數值稱真空度。計算方法:真空度=大氣壓強-***壓強。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等電容真空計在哪些領域有應用?
陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造:用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜:確保鍍膜質量。科研實驗:用于高精度真空測量。醫療設備:如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點:高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性,在多個領域得到廣泛應用,盡管成本較高,但其性能優勢明顯。電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。南京mems真空計原廠家
皮拉尼真空計測量范圍?南京mems真空計公司
渦輪分子泵的工作原理是在電機的帶動下,動葉輪高速旋轉(動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區域內,氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產生定向流動而被排出泵外,從而達到抽氣的目的。啟動快:渦輪分子泵能夠在短時間內迅速啟動,并達到穩定的抽氣狀態。抗射線照射:渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射,適用于高能加速器等輻射環境下的真空抽取。耐大氣沖擊:渦輪分子泵具有較強的耐大氣沖擊能力,能夠在氣壓突變的環境中保持穩定的抽氣性能。無氣體存儲和解吸效應:渦輪分子泵在工作過程中不會存儲氣體,也不會產生解吸效應,因此能夠獲得清潔的超高真空。無油蒸氣污染:渦輪分子泵采用無油潤滑系統,避免了油蒸氣對真空環境的污染。四、應用領域南京mems真空計公司