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來源: 發布時間:2025-06-25

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在晶圓制造、封裝等全流程中,它們還具備出色的穩定性和可靠性。即使長時間連續工作,也能在復雜多變的環境中保持性能穩定,不會因溫度、濕度等環境因素或長時間使用而出現漂移或誤差,為半導體生產的連續性和穩定性提供堅實保障,護航半導體產品性能提升。在半導體生產車間的氣體輸送環節,壓力把控對氣體流量的穩定輸送至關重要。山本電機Manostar的微差壓表能實時、測量氣體壓力,一旦壓力出現異常波動,系統可依據其反饋迅速調整,確保氣體以穩定流量、壓力輸送至反應腔室。例如在化學氣相沉積(CVD)工藝中,氣體壓力與流量的穩定,決定著薄膜沉積的均勻性與質量,Manostar微差壓表助力實現這一嚴苛要求,保障沉積出的薄膜厚度均一、性能穩定,為高性能芯片制造奠定基礎。山本電機 Manostar 長野計器 NKS、KRONE微差壓表助力提升半導體產品性能。

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