下面我們來簡單講講選擇探針臺設備時需要注意事項：一、機械加工精度；二、電學量測精度三、環境要求，如：真空環境、高溫、低溫環境、磁場環境及其它。四、光學成像；五、自動化控制精度。總體而言，具有清晰并高景深的微觀成像，再通過準確的探針裝置對探針進行多方向移動，對準量測點，進行信號加載，通過高精度線纜將所需測試數據傳輸至量測儀表，以達到所需得到的分析數據，所以，如果想得到高質量的分析數據，從成像到點針，再到數據傳輸每項步驟都會起到重要的作用，另外振動對精度也有一定的影響。探針尖如果氧化，接觸電阻變大。湖南射頻探針臺生產

晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數：垂直或面內磁場探針臺，通用性設計；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測試）；提供Z軸探針平臺快速升降功能，實現高效測試；磁場強度≥330mT;直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm，調節精度2μm；T軸手動調節±5°，小至調節精度5’。晶圓級半自動二維磁場探針臺：詳細參數可對晶圓施加垂直或面內磁場，兼容性設計；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4組探針（RF或DC測試）；提供Z軸探針平臺快速升降功能，實現高效測試；磁場強度≥0.7T；直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm，調節精度2μm；T軸手動調節±5°，小到調節精度5’。廣東高溫探針臺供應商探針臺測試時參數測不穩，為了不使它氧化，我們平時必須保護好探針卡，把它放在卡盒里。

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。

平面電機x-y步進工作臺：平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。而定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。

隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上，從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。廣東高溫探針臺供應商

探針卡使用一段時間后，由于探針加工及使用過程中的微小差異導致所有探針不能在同一平面上會造成。湖南射頻探針臺生產

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類：探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。經濟手動型根據客戶需求定制：chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；X-Y移動行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）；chuckZ軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離；顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）；顯微鏡移動方式：立柱環繞型、移動平臺型、龍門結構型（可選）；探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關；可搭配Probecard測試；適用領域：晶圓廠、研究所、高校等。湖南射頻探針臺生產

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