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來源: 發(fā)布時間:2025-01-08

探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。晶圓測試是芯片制造產(chǎn)業(yè)中一個重要組成部分,是主要的芯片良品率統(tǒng)計方法之一。隨著晶圓片直徑的逐漸增大且密度逐漸提高,晶圓測試的難度和成本也越來越高,也使得芯片需要更長的測試時間以及更加精密復雜的機械裝置和計算機系統(tǒng)來執(zhí)行測試工作和監(jiān)控測試結果。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍天。上海探針臺哪里有

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相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性。上海探針臺哪里有測試信號的完整性需要高質(zhì)量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。

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探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當?shù)奈恢谩R坏┕潭ǎ倏v器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉運動。

對于當今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。

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射頻測試探針必須具有與測試點相匹配的阻抗。通常要做的是在設計中各個預先計劃好的測試點焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測試點可以選在對整體設計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設計上,從而減少侵入性探測。高性能測試設備供應商可以提供高達毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,它們在大容量的測試應用或者故障排除應用中受到限制,更適合于原型設計和研發(fā)。半導體行業(yè)向來有“一代設備,一代工藝,一代產(chǎn)品”的說法。上海探針臺哪里有

探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。上海探針臺哪里有

在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導體測試探針的主要技術,而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來,國內(nèi)探針廠商均處于中低端領域,主要生產(chǎn)PCB測試探針、ICT測試探針等產(chǎn)品。總體來說,只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導體測試探針,只有國內(nèi)好的芯片和測試遍地開花,整個產(chǎn)業(yè)足夠大,國產(chǎn)配套供應商才能迅速成長起來。上海探針臺哪里有

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