探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時，提供前所未有的自動化水平。這種新技術使探針系統能夠感知，學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環境。隨著集成電路產品不斷進入汽車應用等更高發熱量的環境，在越來越寬的溫度范圍內表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前，大多數芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F在，該范圍已經擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。系統在測試每個芯片的時候對芯片的好壞與否進行判斷，發出合格與不合格的信號。北京高溫探針臺

在工藝方面，常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構成的，測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關鍵因素，電鍍處理過的彈簧使用壽命高，不會生銹，也能提高測試探針是持久性和導電性。因此，電鍍工藝是生產半導體測試探針的主要技術，而國內的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來，國內探針廠商均處于中低端領域，主要生產PCB測試探針、ICT測試探針等產品?？傮w來說，只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導體測試探針，只有國內好的芯片和測試遍地開花，整個產業足夠大，國產配套供應商才能迅速成長起來。山西全自動探針臺哪家好實現芯片測試的途徑就是探針卡。

相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性。

滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養：由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70％，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業的儀器儀表調整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態，所以對需要調整的工作臺應有專業生產廠家或經過培訓的專業人員完成。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是工作臺的故障。

晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時，芯片有內部備用資源可用于修復（即閃存IC）；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的，則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記，或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層，接觸電阻減小而電流流動迅速開始。北京高溫探針臺

典型的探針卡是一個帶有很多細針的印刷電路板。北京高溫探針臺

探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備，一代工藝，一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產線投資中，設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計，全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半導體行業景氣度下滑及宏觀經濟環境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預計疫病過后，將恢復增長。北京高溫探針臺