從功能上來區分有：高溫探針臺，低溫探針臺，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡／探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大，所以其使用維護保養不可一概而論，應區別對待。探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。河南全自動探針臺

手動探針臺的使用方式：待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，然后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。常見故障的排除當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術參數。江蘇測試芯片探針臺定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上。

高性能密閉微暗室有效屏蔽：腔體采用導電的處理工藝，確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果，降低系統噪聲，有效屏蔽外界干擾，并提供低漏電流保護，為微弱電信號測試提供了合理的測試環境；同時也注意零件配合以及裝配的同時，保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環境的模擬測試，有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在，通過氣流的特性，填充滿密封腔體內，使腔體里內的氣體露的點進行降低直至到一定的點。

據SEMI數據統計，2020年及2021年，全球半導體測試設備市場規模或將分別達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內半導體技術的發展，多個晶圓廠及實驗室的建立，國內探針臺市場規模2019年約為10.25億元，2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業的迅速發展，半導體產品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術，具有技術壁壘高、制造難度大及研發投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產業的多個環節起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發展，市場對自動化探針臺需求旺盛。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創碧水藍天。

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端，并且在某些情況下提供旋轉運動。一般，信號路徑電阻被用來替代接觸電阻，而且它在眾多情況下更加相關。江蘇測試芯片探針臺

測試信號的完整性需要高質量的探針接觸，這與接觸電阻（CRes）直接相關。河南全自動探針臺

探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。河南全自動探針臺