簡化高真空機組,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。對于較大型的高真空應用設備,也可適當加強前級泵的預抽能力,進一步縮短抽氣時間,由于預抽時間與整個排氣過程相比很短,所以前級泵的使用時間也很短,因此可以兼作多套設備的預抽作用,而這往往是非常現實的。這就使規模化應用的真空機組得到的簡化。在某些中真空應用中,需要進入10-1Pa范圍,這對羅茨泵的二級機組往往難于實現,而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數量級而進入10-1Pa,所以中真空應用也常用三級機組。真空泵市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。VP0435A真空泵訂做費用
水環真空泵用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩可靠,操作簡單,維修方便。水環式真空泵的缺點,效率低,一般在30%左右,較好的可達50%。真空度低,這不只是因為受到結構上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點,盡管它效率低,仍然得到了普遍的應用。工業水環真空泵供應費用真空干燥箱對于所烘的物料是有要求的,其一是不能含有大量的水,其二是不能含有有機化合物。
關于真空泵的發展,國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。
羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑,需要加液態水過濾器和冷凝器,起到一個過濾的作用。
擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內保持不變,但在壓強較高或很低時,抽速下降很快。當泵入口壓強很低時,氣體從前級通過射流的反擴散會增加,同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時,大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級的反流,抽速降低;油擴散泵的極限壓強與前級側氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關,當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時,泵的入口壓強不受出口壓強的影響,氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態,與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結構有關。真空泵整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。吸氣真空泵制作報價
水環真空泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的。VP0435A真空泵訂做費用
由于真空泵的重心較高,在高速運轉時穩定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。VP0435A真空泵訂做費用
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