氣體質量流量控制器寬泛應用于鋼鐵廠、焦化廠、石油、化工、熱力、熱電廠、環保等行業當中,該產品是根據熱擴散原理而設計生產出來的,對于準確測量和控制氣體質量流量一般會使用氣體質量流量控制器作為真正的直接式質量流量控制器,用戶不需要在使用氣體質量流量計時補償壓力和溫度。安裝氣體質量流量控制器時需要注意安裝控制器首先是要考慮到的因素是其所在的環境,要盡量避開有振動的地方,并且要在安裝的時候做好牢固的支撐,如果沒有辦法避免一定要安裝在震動源的附近,可以選擇有品質保證的氣體質量流量控制器或使用軟管去連接。氣體質量流量控制器常見類型有差圧式流量計。貴州耐腐蝕氣體質量流量控制器技術支持
氣體質量流量控制器,即MassFlowController(縮寫為MFC),是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置,能在比較寬的量程范圍內快速而精確的控制氣體流量,即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微變化,也不會影響其正常的工作,原則上是不需要溫度和壓力補償的,氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。重慶迷你式氣體質量流量控制器廠家氣體質量流量控制器可應用于催化劑、化學添加劑質量流量測量。
半導體設備對氣體質量流量控制器的要求重要的一點就是高精度,傳統的氣體質量流量控制器在使用一段時間后,由于環境溫度、氣體污染等原因,有可能出現精度超差的現象,但由于檢測條件的限制,用戶無法對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。因此需要研究一種自我診斷技術,通過該技術,用戶可以隨時對氣體質量流量控制器的精度進行檢驗。增加氣體質量流量控制器的自我診斷功能,需要通過初級流量測量原理獲得流量。若Qm為氣體的質量流量,可以根據壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時間的變化曲線建立氣體質量流量控制器的精度對應表,進行自我診斷過程中,與該表格信息進行對比,可通過兩條曲線的相似度判定,系統的精度是否在要求范圍內。自我診斷技術很大程度的提高了氣體質量流量控制系統的可靠性,完善了系統功能。
氣體質量流量控制器的常見類型:渦輪流量計,是速度式流量計中的主要種類,它采用多葉片的轉子(渦輪)感受流體平均流速,從而推導出流量或總量的儀表。超聲流量計,通過檢測流體流動對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。電磁流量計,電磁流量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。電磁流量計有一系列優良特性,可以解決其它流量計不易應用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。熱式流量計,熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件,一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時,電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。如果氣體質量流量控制器內滲入了液態物質,請盡量將設備置于真空工況下,使液體從設備內的微小氣道蒸發。
隨著電爐行業快速的發展,目前熱式氣體質量流量控制器、質量流量計在電爐行業中,也寬泛使用。氣體質量流量控制器/流量計的測量范圍從:5sccm—1500SLM,能滿足市面上絕大多數的電爐使用要求。氣體的介質也能按照用戶的使用要求來標定,如空氣、氬氣等氣體質量流量控制器,都能根據用戶的實際使用來進行選型和標定。數據可以遠程傳輸,可選0-5V的電壓、4-20mA電流以及RS485modbus協議的通訊信號,本產品抗干擾能力強、精度高、穩定性好,很大程度的節約人工成本提高工作效率。高壓催化反應設備中的熱式氣體質量流量控制器在成套精密設備中氣路控制部分的重點器件。陜西mems氣體質量流量控制器批發廠家
低于或高于正常工作壓差都可導致氣體質量流量控制器無法正常使用。貴州耐腐蝕氣體質量流量控制器技術支持
氣體質量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?氣體質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于較低值(0.1MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于較高值(0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩定。貴州耐腐蝕氣體質量流量控制器技術支持
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