氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)與氣體質(zhì)量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。質(zhì)量流量計直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機為重點的智能儀表,因此可根據(jù)上述三個基本量而導出十幾種參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活,功能強大,性能價格比高,是新一代流量儀表。質(zhì)量流量計可分為兩類:一類是直接式,即直接輸出質(zhì)量流量;另一類為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進行乘法運算以得出質(zhì)量流量。當氣體質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時,可以當質(zhì)量流量計使用。遼寧迷你氣體質(zhì)量流量控制器廠家
氣體質(zhì)量流量控制器:流量控制的范圍是滿量程的2~100%(量程比為50:1),因此在很多領域得到普遍的應用。氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降,己壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1Mpa~0.3Mpa,若壓差低于較低值(O.1MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于較高值((0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%FS。陜西迷你式氣體質(zhì)量流量控制器維護通入不同的工藝氣體,要選擇對應氣體專門使用的氣體質(zhì)量流量控制器,以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計量。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計只能測量和控制干燥的、純凈的氣體。如果是氣體中含有水分或雜質(zhì),就容易讓我們的毛細管傳感器堵塞或損壞,從而導致流量控制器損壞或測定的流量數(shù)據(jù)不準確,沒有參考意義。對工作環(huán)境也有一定的要求。一般會建議用戶不在很惡劣的環(huán)境中使用本產(chǎn)品,如:空氣中含有高濃度的化學物質(zhì)、潮濕等。使用腐蝕性氣體和有機溶劑氣體問題。氣體流經(jīng)的通道采用的材料為:316L不銹鋼、丁腈、氟橡膠等耐蝕材料。在使用得當?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性氣體,不能直接使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體。如果需要使用有腐蝕性和有機溶液的介質(zhì)時,應在定貨時聲明。
氣體質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(縮寫為MFC),是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置,能在比較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確的控制氣體流量,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微變化,也不會影響其正常的工作,原則上是不需要溫度和壓力補償?shù)模瑲怏w質(zhì)量流量控制器(MFC)在石化工業(yè)、生化、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。氣體質(zhì)量流量控制器可預置多種氣體曲線并根據(jù)需要設定量程范圍。
客戶在使用氣體質(zhì)量流量控制器/計時,對于氣體的要求:1,氣體必須潔凈并且沒有顆粒物,沒有液體,這就要求在氣體質(zhì)量流量控制器/計的上游氣路中安裝<30μm的過濾器。2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準,不可以超過氣體質(zhì)量流量控制器/計要求的壓力。3、氣體質(zhì)量流量控制器/計使用的氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應,用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于廠家。氣體質(zhì)量流量控制器可應用于醫(yī)學應用。天津小流量氣體質(zhì)量流量控制器廠家報價
氣體質(zhì)量流量控制器常見類型有科里奧利式流量計。遼寧迷你氣體質(zhì)量流量控制器廠家
氣體質(zhì)量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎?如何選擇密封材料?氣體質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但是要注意,對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時,需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,以免因為選型或選擇密封材料錯誤,造成嚴重損失。通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議較好采用金屬密封的MFC。遼寧迷你氣體質(zhì)量流量控制器廠家
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