氣體質量流量控制器在半導體集成電路工藝電路及光纖熔煉等方面的應用打破了行業的固有發展模式。特別是某些服務完善的氣體質量流量控制器的普及與應用促使行業的加工工藝發生了重大變革,氣體質量流量控制器出廠前需滿足耐氣壓要求:據市場反饋不同種類的氣體質量流量控制器具有不同的耐氣壓要求。據統計流量控制器的耐氣壓分為1MPa、3MPa、10Mpa這三種,現今較為常用的是10Mpa的差壓氣體質量流量控制器,它可通過流體流經節流裝置時管道所產生的壓力差作為流量測量的依據。對于質量流量控制器而言壓力、環境、溫度的波動以及介質的變化產生誤差可忽略不計。湖南mems氣體質量流量控制器哪家好
氣體質量流量控制器出廠前需滿足密封漏氣率:氣體質量流量控制器出廠前還需滿足密封漏氣率要求。不同的控制器可以根據不同的使用條件來選擇相對應的密封漏氣率,用戶在選購控制器時也應查詢其密封漏氣率參數信息,比如控制閥的密封漏氣率控制在正常范圍內,那么這個氣體質量流量控制器就是合格產品。材料耐腐蝕性:氣體質量流量控制器是用于測量各類不同氣體的質量與流量,但某部分氣體可能帶有腐蝕性。因此氣體質量流量控制器的流通通道與工作氣體相互接觸的部分必須要選用耐腐蝕性材料,特別是應用于腐蝕性較強的氣體時,必須選用耐腐蝕等級較高的材料。北京防爆式氣體質量流量控制器維修氣體質量流量控制器運行時不能正常工作需檢查配氣、出氣壓力是否和訂貨時壓力范圍一致。
熱式氣體質量流量控制器/流量計只能測量和控制干燥的、純凈的氣體。如果是氣體中含有水分或雜質,就容易讓我們的毛細管傳感器堵塞或損壞,從而導致流量控制器損壞或測定的流量數據不準確,沒有參考意義。對工作環境也有一定的要求。一般會建議用戶不在很惡劣的環境中使用本產品,如:空氣中含有高濃度的化學物質、潮濕等。使用腐蝕性氣體和有機溶劑氣體問題。氣體流經的通道采用的材料為:316L不銹鋼、丁腈、氟橡膠等耐蝕材料。在使用得當的條件下,可以用于控制一般的腐蝕性氣體,不能直接使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體。如果需要使用有腐蝕性和有機溶液的介質時,應在定貨時聲明。
隨著工業快速的發展,普通的熱式氣體質量流量計與控制器已經不能滿足日益增長的使用需求了,因此一款高精度的、新型的、穩定性好的氣體質量流量控制器越來越被需要。除開常規的精度、耐壓、泄漏率、供電等是使用者一直關注的重點問題,抗震性現在也越來越多的被用戶所重視。氣體質量流量控制器的性能特點:1、本體數顯操作比較方便;2、耐壓5Mpa;3、抗干擾性比較強;4、壓力范圍比較寬;5、流量控制準;6、數據傳輸的距離比較遠。氣體質量流量控制器能在較寬量程范圍內快速而精確的控制氣體流量。
熱式氣體質量流量控制器在使用時有一定的操作規程和注意事項:注意閥控操作,在操作閥門進行清洗后,不能直接轉至“閥控”位工作,必須先將閥門置于“關閉”位,然后再轉至“閥控”位工作。注意安裝,熱式氣體質量流量計或熱式氣體質量流量控制器安裝時盡量保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平安裝時如發現零點偏移,可調整零點后再工作。注意工作壓差,對于儀表要特別注意工作介質的氣壓,應注意使儀表進出氣兩端的工作壓差保持在治標范圍內。特別是在高壓下工作時,氣壓差過大,流量將無法關閉或調小。在使用大流量的儀表時,要注意適當加粗管道和減小氣源內阻,如工作壓差小于要求值,有可能流量達不到滿量程值。氣體質量流量控制器采用進口標準的全新技術,新型的傳感制作工藝,有著更快的響應速度,更加穩定的控制。青海mems氣體質量流量控制器維護
高壓催化反應設備中的熱式氣體質量流量控制器在成套精密設備中氣路控制部分的重點器件。湖南mems氣體質量流量控制器哪家好
熱式氣體質量流量控制器結構型式的多樣靈活,可滿足使用現場的不同需求。產品能自動控制氣體流量,用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,,也不會使其偏離設定值。氣體流量傳感器采用熱導原理測量氣體的質量流量,微處理器采集傳感器加熱電橋測得的流量信號并與設定值進行比較,再將差值信號輸出放大后去控制調節閥門,微處理器內置PID控制程序,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。湖南mems氣體質量流量控制器哪家好
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