為什么等離子設備上需要使用熱式氣體質量流量控制器?隨著等離子行業的快速發展,熱式氣體質量流量控制器在各種等離子設備中普遍使用,熱式氣體質量流量計的主要作用是準確的控制和調節氣體的進氣流量,等離子設備中需要注入和填充的混合氣體,以保證更好的產品性能,就需要更高精度和穩定性好的氣體質量流量控制器。等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質。氣體質量流量控制器組成配件有放大控制器。陜西模擬式氣體質量流量控制器哪家質量好
氣體質量流量控制器對于模擬的MFC,一般需要在計算機上配A/D、D/A轉換板,模擬/數字轉換用于接收流量測量值,數字/模擬轉換用于給出0-5VDC流量設定信號,這種轉換板在工業控制產品市場上很容易買到;如果是MFC直接與計算機連接,需要用戶自己提供±15V電源(要求電源抗干擾能力要強);將“設定”線接計算機D/A輸出;將“流量檢測”線接計算機A/D輸入端;MFC信號地與計算機信號線連結即可。如果MFC通過流量顯示儀與計算機連接,將流量顯示儀的“外設”線接計算機D/A輸出;將“流量檢測”線接計算機A/D輸入端;顯示儀的信號地與計算機信號線連結即可。陜西數顯式氣體質量流量控制器廠家報價氣體質量流量控制器組成配件有分流器通道。
氣體質量流量控制器用于對于氣體的質量流量進行精密的測量和控制;氣體質流量計用于對于氣體的質量流量進行精密的測量。氣體質量流量控制器常用于擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜等設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造的設備中。氣體質量流量控制器經常被用于石油化工,冶金,制藥等。氣體質量流量控制器的特點:氣體質量流量控制器精度高,重復性好。
氣體質量流量控制器在測量過程中,以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量;反之,在確定所購產品的量程時,以實際使用氣體的較大期望流量值除以轉換系數,即是相應的氮氣標定產品的流量值。空氣、02、H2、CO、HCL、HF等氣體,其轉換系數約為1.0,一般可直接用按氮氣標定顯示的產品,不必換算。計算機可以直接和MFC相連,也可以通過流量顯示儀ReadoutBox和MFC相連。溫度影響:用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫,溫度影響必須考慮;介質溫度或環境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結構等各種因素。氣體質量流量控制器不易堵塞。
質量流量控制器(流量計)具有如下特點:1、可以應用于從真空到高壓工作環境下,且流量不隨溫度和壓力的影響。2、主體材料選擇不銹鋼316L結構,密封材料采用氟橡膠、丁腈橡膠、聚四氟乙烯等,適用于各種腐蝕性氣體。3、具有精度高、重復性好、快速響應、工作穩定可靠。4、+15V...24VDC寬電源供電,0...5VDC電壓信號或4...20mA電流信號輸入輸出、可選數字控制方式,RS485總線、開放的MODBUS-RTU協議。5、可配合流量顯示儀或其他形式的二次儀表進行控制、操作簡便。氣體質量流量控制器高壓條件下正常使用需要注意選擇耐壓符合要求的MFC。吉林數字氣體質量流量控制器技術支持
氣體質量流量控制器可應用于制氣配氣行業。陜西模擬式氣體質量流量控制器哪家質量好
氣體質量流量控制器有如下優點:1.創新型控制閥設計與信號處理技術;2.高度穩定的流量控制,受過程波動的影響極低;3.可預置多種氣體曲線并根據需要設定量程范圍;4.對機械沖擊和壓力波動具有耐受性;5.可實現多種通訊方式及客戶定制的I/O功能。如果發現氣體質量流量控制器在運行時不能正常工作,請先做以下檢查1、接線不正確,這時需要檢查供電電源、控制反饋信號、控制地等接線是否和接線定義要求一致;2、配氣、出氣壓力是否和訂貨時壓力范圍一致;3、配氣管道有無堵塞或折彎瓶頸;4、使用氣體是否干燥潔凈,有無雜質,是否有油、氣等易產生污染的雜質;5、控制反饋信號,是否滿足產品使用范圍,比如在關閉時,模擬控制信號設定應該為0V。以上幾個問題,如果是接線問題,在沒有損壞氣體質量流量控制器內部電路板的情況下,更改接線便可以正常工作,如果損壞電路板,或者有控制器內部傳感器污染問題,請盡快返廠家進一步分析維修。陜西模擬式氣體質量流量控制器哪家質量好
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