熱式氣體質(zhì)量流量計發(fā)展歷史及原理：發(fā)展歷史：通過認(rèn)真研究分析，一種基于熱傳導(dǎo)效應(yīng)原理的新型儀表進(jìn)入了我們的視線，這種儀表就是熱式氣體質(zhì)量流量計。雖然是新型儀表，但是其測量原理在20世紀(jì)早就提出，20世紀(jì)80年代，在一些發(fā)達(dá)國家熱傳導(dǎo)技術(shù)已經(jīng)開始用于氣體質(zhì)量流量的測量。不過由于受微電子技術(shù)所限，當(dāng)時熱式氣體質(zhì)量流量計存在很多缺陷，例如響應(yīng)速度慢，易受干擾等，所有只在一些特殊場合應(yīng)用于小流量監(jiān)測，或者作為流量開關(guān)使用。氣體質(zhì)量流量計的特點：防振動。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)支持

熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與氣體質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣體質(zhì)量流量計獨特的溫度差測量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計測量煤氣流量時因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點漂移，導(dǎo)致無法測量的弊端。它也可以用于測量濕氣體的氣體質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量（速）的實時檢測。江西防爆式氣體質(zhì)量流量計報價氣體質(zhì)量流量計可應(yīng)用于煙囪排出的煙氣流量（速）測量（CEMS）。

氣體質(zhì)量流量計行業(yè)發(fā)展情況：熱式氣體質(zhì)量流量計以及應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用半導(dǎo)體工業(yè)曾是熱式氣體質(zhì)量流量計主要服務(wù)對象，熱式氣體質(zhì)量流量計是應(yīng)承半導(dǎo)體業(yè)需求的推動而得到蓬勃發(fā)展，應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射等工藝設(shè)備中，測量和控制超凈氣體或腐蝕/有害氣體流量，如氫、氨、氟化氫、三氟化氮、氧化氮、砷化三氫、磷化氫。熱消散效應(yīng)侵入式熱式氣體質(zhì)量流量計，該類儀表應(yīng)用于較大管徑，除測量潔凈氣體外還可測量存在一些塵粒的粗放氣體，如煙道氣等。

熱式氣質(zhì)量流量計性能需思考的問題：熱式氣體質(zhì)量流量計的流量應(yīng)以單位時間流過的質(zhì)量來表示，但測量氣時習(xí)慣上亦常以計算到標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時間流過的體積表示。流量亦以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時間流過距離的長度表示。與其他流量計相比，熱式氣體質(zhì)量流量計適用在低流量范圍，特別是小口徑熱分布式;帶測量短管浸入檢測桿式可選上限流量范圍較寬，上限范圍度在10~30和60~80中間。插入式熱式氣體質(zhì)量流量計的上限流量選擇范圍較寬，可在0.5~100m/s,但較多用在3~60m/s中間，視儀表結(jié)構(gòu)設(shè)計而異。插入式TMF適用在低流量煙道氣測量。液體用熱式氣體質(zhì)量流量計的上限流量很小，國外現(xiàn)有產(chǎn)品上限流量范圍在10-1~102g/min數(shù)量級中間;流量范圍度在10:1~50:1中間。以上是人們在使用熱式氣體質(zhì)量流量計的時候需要考慮的問題，注意了這些基本的常識，這樣才能使用的過程中避免一些常識性的錯誤，這樣它的作用就能得到較大限度的發(fā)揮出來。熱式氣體質(zhì)量流量計要按照流量計的精度等級和經(jīng)濟(jì)性選型。

氣體渦街氣體質(zhì)量流量計輸出的脈沖頻率信號不受流體物性和組分變化的影響，即儀表系數(shù)在一定雷諾數(shù)范圍內(nèi)但與旋渦發(fā)生體及管道的形狀尺寸等有關(guān)。但是作為氣體質(zhì)量流量計在物料平衡及能源計量中需檢測氣體質(zhì)量流量，這時氣體質(zhì)量流量計的輸出信號應(yīng)同時監(jiān)測體積流量和流體密度，流體物性和組分對氣體質(zhì)量流量計量還是有直接影響的。氣體渦街氣體質(zhì)量流量計便是依據(jù)卡門旋渦原理進(jìn)行封閉管道流體流量測量的新型氣體質(zhì)量流量計。因其具有良好的介質(zhì)適應(yīng)能力，無需溫度壓力補(bǔ)償即可直接測量蒸汽、空氣、氣體、水、液體的工況體積流量，配備溫度、壓力傳感器可測量標(biāo)況體積流量和氣體質(zhì)量流量，是節(jié)流式氣體質(zhì)量流量計的理想替代產(chǎn)品。氣體質(zhì)量流量計可應(yīng)用于焦化廠焦?fàn)t煤氣的測量。廣西量熱式氣體質(zhì)量流量計公司

氣體質(zhì)量流量計可以用來測量其它普通流量計無法測量的領(lǐng)域。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)支持

熱式氣體質(zhì)量流量計的應(yīng)用場合，公用工程---電﹑氣﹑水處理的監(jiān)控：管道的氣體、通用系統(tǒng)、沼氣、煤氣、天然氣、液化氣和鍋爐預(yù)熱空氣。石油與天然氣工業(yè)：能量交換、填井氣回收、燃?xì)庥嬃俊怏w質(zhì)量分析、泄漏氣測試、天然氣測量、火炬氣的監(jiān)控。電力行業(yè)：燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測量、鍋爐及輔助系統(tǒng)中各種氣體的測量、燃?xì)鉅t中氣體測量、氫氣測量、電廠高爐的一次風(fēng)和二次風(fēng)的測量。化學(xué)行業(yè)：煙氣循環(huán)監(jiān)測、采樣系統(tǒng)中氣體流量計量、引風(fēng)機(jī)的氣體流量計量、化肥廠氨氣測量和電池工廠各種氣體流量測量。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)支持

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