微小孔的加工一直是機械制造中的一個難點，圍繞這個問題研究人員進行了大量研究。目前可用于加工微小孔的方法有：機械加工、激光加工、電火花加工、超聲加工、電子束加工及復合加工等。有關各種方法可加工的微小孔直徑范圍已有較多的報道，而對于加工所得微小孔側壁粗糙度的研究卻比較少。隨著科學技術的發展和產品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越來越廣地應用于汽車、電子、光纖通訊和流體控制等領域，這些應用對微小孔的加工也提出了更高的要求。化學蝕刻微孔加工利用特定化學試劑與材料的化學反應來蝕除材料形成微孔，大面積微孔陣列時有獨特優勢。南通金屬微孔加工

由于PEEK材料的特性，在高精度微孔深孔加工中存在諸多加工難點，極易出現變形、炸裂、斷刀等情況。本次項目Kasite微納加工中心PEEK導向柱微小孔深孔加工，在主軸轉速、進給量、進給速度等工藝方面進行了優化，實現了獨特的技術突破，搞定了微孔深孔加工存在的技術難點！加工要求：PEEK導向柱超高精度深孔加工，孔洞加工深度23mm，直徑0.256mm，正向精度±0.005mm。孔洞處于柱體中心位置，精度：±0.02mm。對深孔的圓度、中心垂直度、位置精度要求高，并且要求內孔表面光滑無毛刺。加工難點：1.PEEK材料膨脹系數比金屬大，極易出現毛刺、變形、開裂等加工問題。2.深孔孔徑與孔深比高達1:90，加工難度極大。3.鉆孔后出現孔不圓、位置精度差、中心線不直等情況。4.深孔加工中刀具極易磨損或者崩刀、斷刀。東莞激光微孔加工廠寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工技術在半導體制造中表現優異。

不銹鋼微孔加工，介于傳統加工和微細加工之間。雖然可以采用激光加工微孔，但加工過程中通過高溫切割，會改變材料性質，也會因為高溫而產生變形。用電火花也可以加工0.15mm直徑的微孔，但微孔孔壁會留下再鑄層，影響微孔的使用壽命，使得微孔的孔壁表面質量發生惡化。用機械鉆孔加工，鉆頭非常容易斷，微孔的出口處會留下毛刺，這些毛刺會影響裝配的效果。這些微孔只有在高倍顯微鏡下才能看到，許多微小型鉆孔的決定因素也類似于標準尺寸的鉆削加工。數印通根據零件的種類、內孔直徑、形狀、尺寸精度和深度等，采用蝕刻優版加工，先將客戶需要的不銹鋼微孔的圖文在電腦中定稿，將定制好的圖文通過蝕刻優版軟件和噴墨印刷打印設備，直接對工件按需進行噴印蝕刻掩膜層，然后進入蝕刻環節。

在微孔加工過程中應避免出現孔徑擴大孔直線度過大.工件表.面粗糙度差及鉆頭過快磨損等問題，以防影響鉆孔質量和增大加工成本，應盡量保證以下的技術要求:①尺寸精度:孔的直徑和深度尺寸的精度;②形狀精度:孔的圓度、圓柱度及軸線的直線度;③位置精度:孔與孔軸線或孔與外圓軸線的同軸度;孑L與孔或孔與其他表面之間的平行度、垂直度等。同時，還應該考慮以下5個要素:1.孔徑、孔深、公差、表面粗糙度、孔的結構;2.工件的結構特點，包括夾持的穩定性、懸伸量和回轉性;3.機床的功率、轉速冷卻液系統和穩定性;4.加工批量;5.加工成本。寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工設備配備智能控制系統，實現自動化操作，提高生產效率。

激光加工：其生產效率高、成本低、加工質量穩定可靠、具有良好的經濟效益和社會效益。它主要加工0.1mm以下的材料，電子部件、多層電路板的焊接、陶瓷基片，寶石基片上的鉆孔、劃線和切片；半導體加工工種的激光走域加熱和退貨、激光刻蝕、摻雜和氧化等，對金屬微孔加工激光工藝容易產生燒黑的現象，且容易改變材料的材質，殘渣不易清理或無法清理的現象。線性切割：采用線電極連續供絲的方式，慢走絲線切割機在運用領域得到了普及，工件表面粗糙度通常可達到Ra=0.8μm及以上，但線切割工藝材料容易變形，批量切割生產價格昂貴。蝕刻：加工工藝即光化學蝕刻,通過曝光顯影后將要蝕刻區域的保護膜去除,在蝕刻時接觸化學溶液,使用兩個陽性圖形通過從兩面的化學研磨達到溶解的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。對形狀復雜，精密度要求高二機械加工難以實現的超薄形工件。蝕刻加工能夠滿足部件平整、無毛刺、圖形復雜的要求，加工周期短、成本低。微鉆加工:是直接小于3.175mm的鉆頭，它主要加工Ф0.1-Ф0.3mm，深徑比超過10。寧波米控機器人科技有限公司的微孔加工設備支持高速加工，縮短生產周期。金屬微孔加工供應

激光微孔加工憑借其高能量密度光束，可在金屬、陶瓷等多種材料上精確雕琢出微米級孔洞，且加工熱影響區小。南通金屬微孔加工

激光LIGA技術它采用準分子激光深層刻蝕代替載射線光刻，從而避開了高精密的載射線掩膜制作、套刻對準等技術難題，同時激光光源的經濟性和使用的普遍性明顯優于同步輻射載光源，從而有效降低LIGA工藝的制造成本，使LIGA技術得以廣泛應用。盡管激光LIGA技術在加工微構件高徑比方面比載射線差，但對于一般的微構件加工完全可以接受。此外，激光LIGA工藝不像載射線光刻需要化學腐蝕顯影，而是“直寫”刻蝕，不存在化學腐蝕的橫向浸潤腐蝕影響，因而加工邊緣陡直，精度高，光刻性能優于同步載射線光刻。南通金屬微孔加工