無塵車間設計需綜合多方面關鍵因素。首先是工藝流程和建筑平面布置,要根據生產工藝特點,合理規劃設備擺放和人員流動路線,避免交叉污染。例如電子芯片制造車間,需將光刻、蝕刻等關鍵工序設置在潔凈度高的區域。其次是建筑構造和材料選擇,墻體、地面、天花板材料要具備防塵、防靜電、易清潔等特性,如選用彩鋼板作為墻體材料。還要依據當地能源供應背景,選定可靠且經濟的冷、熱源,滿足車間溫濕度控制需求。同時,要合理劃分和布置空調凈化和排風系統,確保空氣凈化效果和氣流組織合理,以滿足不同潔凈等級要求。黃光區紫外防護,泄漏量≤1μW/cm2,保護光刻膠性能。重慶氫燃料電池無塵車間改造
光學儀器和航空航天部件的制造需要極高的精度和可靠性,無塵車間可以減少灰塵和顆粒物的存在,保證光學產品的清晰度和精度。在光學制造領域,無塵車間是保證產品質量和生產效率的關鍵因素。無塵車間確保了航空航天零部件的制造過程中不受污染,提高了產品的整體質量和安全性。航空航天產品的制造對環境要求極為嚴格,無塵車間為零部件制造提供了潔凈、穩定的環境,保障了航空航天事業的發展。無塵車間在科研實驗室中的應用,可以減少實驗過程中的污染和誤差,提高實驗結果的準確性和可靠性。無論是生物學、化學、物理學還是材料科學等領域的研究,都需要在潔凈、無塵的環境中進行。無塵車間為科學研究提供了良好的實驗環境,推動了科學技術的進步。中國臺灣光學電子無塵車間生產醫藥級無塵車間采用VHP滅菌,孢子殺滅率達6-log,符合GMP標準。
設置單獨防爆墻,采用A級防火材料。分容柜配置熱電偶陣列,實時監測電芯溫度梯度。當溫差超過5℃時自動啟動冷卻系統,通過液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學過濾機組與FFU機組組合方案,對0.1μm顆粒過濾效率達99.9995%。光刻機臺設置單獨百級潔凈罩,通過層流送風維持正壓環境。配置自動物料搬運系統(AMHS),減少人員干預。設置單獨除濕系統,將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺配置顯微鏡,通過圖像處理系統實時檢測膠層厚度。采用UV固化燈時,設置單獨排風系統,將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。
在一些食品的生產中,如巧克力、糖果等,為了防止微生物滋生和異物混入,也需要建設無塵車間。無塵車間能夠有效控制食品生產環境中的細菌和其他污染物,確保食品的衛生和質量,讓消費者能夠放心食用。無塵無菌車間通過分區設計與空氣動力學控制實現污染物隔離。采用BIM技術結合生產流程進行三維空間規劃,將車間劃分為潔凈區、準潔凈區和輔助區三大功能區域。通過不同區域間的壓差梯度設置(通常保持10 - 15Pa壓差),形成從潔凈區向準潔凈區再向輔助區的單向氣流路徑,有效阻隔外部污染物滲透。離子注入無塵車間,金屬污染≤1×10^6atoms/cm2,提升器件性能。
采用垂直單向流與水平單向流混合送風模式,在電芯堆疊區設置0.45m/s勻速氣流屏障。通過CFD模擬優化送風面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內置氮氣保護系統,將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對光刻工序對空氣分子污染物(AMC)的嚴苛要求,配置化學過濾機組,對硼、磷、硫等氣態雜質去除效率達99.999%。采用VOC在線監測系統,實時檢測NH3、SO2等關鍵指標,結合FFU風機過濾單元的三級過濾體系,確保ISO1級潔凈環境。楚嶸無塵車間,通過CFD模擬優化,氣流均勻性提升60%。江西十萬級無塵車間工程
智能排風與應急裝置,保障生產安全與人員健康。重慶氫燃料電池無塵車間改造
動力電池生產涉及易燃易爆材料,對無塵車間的安全防護要求極高。廣東楚嶸公司設計的動力電池無塵車間,采用了防爆型電氣設備和七氟丙烷滅火系統,確保了電芯分選、注液等工序的安全。同時,車間內還設置了氣體檢測儀和緊急排風系統,實時監測電解液蒸汽濃度,并在濃度超標時自動啟動排風系統,防止風險。楚嶸公司還提供了應急處理預案和培訓服務,確保員工在緊急情況下能夠迅速應對。半導體封裝工序對微污染極為敏感,直接影響產品良率。廣東楚嶸公司設計的半導體封裝無塵車間,采用了化學過濾機組與FFU風機過濾單元組合方案,對0.1μm顆粒過濾效率達99.9995%。在引線鍵合區,楚嶸公司設置了單獨的百級潔凈艙,通過層流送風維持正壓環境,有效減少了微污染對封裝良率的影響。同時,車間內還配備了在線監測系統,實時監測潔凈度等關鍵參數,確保封裝過程的穩定性。重慶氫燃料電池無塵車間改造