成都油性光刻膠工廠

來源：發布時間：2025-05-06

吉田半導體 SU-3 負性光刻膠：國產技術賦能 5G 芯片封裝

自主研發 SU-3 負性光刻膠支持 3 微米厚膜加工，成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對 5G 芯片封裝需求，吉田半導體自主研發 SU-3 負性光刻膠，分辨率達 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min。其超高感光度與耐化學性確保復雜圖形的完整性，已應用于高通 5G 基帶芯片量產。產品采用國產原材料與工藝，不采用國外材料，成本較進口產品降低 40%，幫助客戶提升封裝良率至 98.5%，為國產 5G 芯片制造提供關鍵材料支撐。

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國家大基金三期：注冊資本3440億元，明確將光刻膠列為重點投資領域，計劃投入超500億元支持樹脂、光引發劑等原料研發，相當于前兩期投入總和的3倍。

地方專項政策：湖北省對通過驗證的光刻膠企業給予設備采購補貼+稅收減免，武漢太紫微憑借全流程國產化技術獲中芯國際百萬級訂單；福建省提出2030年化工新材料自給率達90%，光刻膠是重點突破方向。

研發專項：科技部“雙十計劃”設立20億元經費，要求2025年KrF/ArF光刻膠國產化率突破10%，并啟動EUV光刻膠預研。

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? 化學反應：

? 正性膠：曝光后光敏劑（如重氮醌DQN）分解，生成羧酸，在堿性顯影液中溶解；

? 負性膠：曝光后光敏劑引發交聯劑與樹脂形成不溶性網狀結構。

5. 顯影（Development）

? 顯影液：

? 正性膠：堿性水溶液（如0.26N四甲基氫氧化銨TMAH），溶解曝光區域；

? 負性膠：有機溶劑（如二甲苯、醋酸丁酯），溶解未曝光區域。

? 方法：噴淋顯影（PCB）或沉浸式顯影（半導體），時間30秒-2分鐘，需控制顯影液濃度和溫度。

6. 后烘（Post-Bake）

? 目的：固化膠膜，提升耐蝕刻性和熱穩定性。

? 條件：

? 溫度：100-150℃（半導體用正性膠可能更高，如180℃）；

? 時間：15-60分鐘（厚膠或高耐蝕需求時延長）。

7. 蝕刻/離子注入（后續工藝）

? 蝕刻：以膠膜為掩膜，通過濕法（酸堿溶液）或干法（等離子體）刻蝕基板材料（如硅、金屬、玻璃）；

? 離子注入：膠膜保護未曝光區域，使雜質離子只能注入曝光區域（半導體摻雜工藝）。

8. 去膠（Strip）

? 方法：

? 濕法去膠：強氧化劑（如硫酸+雙氧水）或有機溶劑（如N-甲基吡咯烷酮NMP）；

? 干法去膠：氧等離子體灰化（半導體領域，無殘留）。

市場拓展

? 短期目標：2025年前實現LCD光刻膠國內市占率10%，半導體負性膠進入中芯國際、華虹供應鏈，納米壓印膠完成臺積電驗證。

? 長期愿景：成為全球的半導體材料方案提供商，2030年芯片光刻膠營收占比超40%，布局EUV光刻膠和第三代半導體材料。

. 政策與產業鏈協同

? 受益于廣東省“強芯工程”和東莞市10億元半導體材料基金，獲設備采購補貼（30%）和稅收減免，加速KrF/ArF光刻膠研發。

? 與松山湖材料實驗室、華為終端建立聯合研發中心，共同攻關光刻膠關鍵技術，縮短客戶驗證周期（目前平均12-18個月）。

. 挑戰與應對

? 技術壁壘：ArF/EUV光刻膠仍依賴進口，計劃2026年建成中試線，突破分辨率和靈敏度瓶頸（目標曝光劑量<10mJ/cm2）。

? 供應鏈風險：部分原材料（如樹脂）進口占比超60%，正推進“國產替代計劃”，與鼎龍股份、久日新材建立戰略合作為原材料供應。

松山湖光刻膠廠家吉田，2000 萬級產能，48 小時極速交付!

以 15% 年研發投入為驅動，吉田半導體加速 EUV 光刻膠與木基材料研發，搶占行業制高點。布局下一代光刻技術。
面對極紫外光刻技術挑戰，吉田半導體與中科院合作開發化學放大型 EUV 光刻膠，在感光效率（<10mJ/cm2）和耐蝕性（>80%）指標上取得階段性進展。同時，公司前瞻性布局木基光刻膠研發，對標日本王子控股技術，探索生物基材料在半導體封裝中的應用。這些技術儲備為 7nm 及以下制程提供支撐，助力中國在下一代光刻技術中占據重要地位。半導體光刻膠：技術領域取得里程碑。山東紫外光刻膠生產廠家

松山湖企業深耕光刻膠領域二十載，提供全系列半導體材料解決方案。成都油性光刻膠工廠

國際標準與客戶認證

公司通過ISO9001、ISO14001等認證，并嚴格執行8S現場管理，生產環境潔凈度達Class 10級。其光刻膠產品已通過京東方、TCL華星的供應商認證，在顯示面板領域的市占率約5%，成為本土企業中少數能與日本JSR、德國默克競爭的廠商。

全流程可追溯體系

吉田半導體建立了從原材料入庫到成品出庫的全流程追溯系統，關鍵批次數據（如樹脂分子量分布、光敏劑純度）實時上傳云端，確保產品一致性和可追溯性。這一體系使其在車規級芯片等對可靠性要求極高的領域獲得突破，2023年車用光刻膠銷售額同比增長120%。

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標簽：光刻膠錫片

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