遼寧阻焊光刻膠國產(chǎn)廠家

來源：發(fā)布時間：2025-06-23

吉田半導體納米壓印光刻膠 JT-2000：國產(chǎn)技術突破耐高溫極限

自主研發(fā) JT-2000 納米壓印光刻膠耐受 250℃高溫，為國產(chǎn)納米器件制造提供關鍵材料。吉田半導體 JT-2000 納米壓印光刻膠采用國產(chǎn)交聯(lián)樹脂，在 250℃高溫下仍保持圖形保真度 > 95%。產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與全自動化工藝，其高粘接強度與耐強酸強堿特性，適用于光學元件、傳感器等精密器件。產(chǎn)品已通過國內科研機構驗證，應用于國產(chǎn) EUV 光刻機前道工藝，幫助客戶實現(xiàn)納米結構加工自主化。

光刻膠國產(chǎn)替代的主要難點有哪些？遼寧阻焊光刻膠國產(chǎn)廠家

主要優(yōu)勢：細分領域技術突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同

技術積累與自主化能力

公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗，實現(xiàn)了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如，其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系，分辨率達3μm，適用于MEMS傳感器、光學器件等領域，填補了國內空白。

技術壁壘：掌握光刻膠主要原材料（如樹脂、光酸）的合成技術，部分原材料純度達PPT級，金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。

產(chǎn)品多元化與技術化布局

產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如：

? LCD光刻膠：適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術，與京東方、TCL華星合作開發(fā)高分辨率產(chǎn)品，良率提升至98%。

? 半導體錫膏：供應華為、OPPO等企業(yè)，年采購量超200噸，用于5G手機主板封裝。

技術化延伸：計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發(fā)，目標進入中芯國際、長江存儲供應鏈。

質量控制與生產(chǎn)能力

通過ISO9001:2008質量體系認證，生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理，原材料采用美、德、日進口高質量材料。擁有全自動化生產(chǎn)線，年產(chǎn)能達2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規(guī)模訂單交付。

廣西阻焊油墨光刻膠國產(chǎn)廠家松山湖企業(yè)深耕光刻膠領域二十載，提供全系列半導體材料解決方案。

關鍵工藝流程

涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。

前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。

曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。

顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區(qū)域膠膜溶解，未曝光區(qū)域保留，形成三維立體圖案。

后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發(fā)光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。

聚焦先進封裝需求，吉田半導體提供從光刻膠到配套材料的一站式服務，助力高性能芯片制造。
在 5G 芯片與 AI 處理器封裝領域，吉田半導體研發(fā)的 SU-3 負性光刻膠支持 3μm 厚膜加工，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，為高密度金屬互連提供可靠支撐。其 BGA 助焊膏采用低溫固化技術（180℃），焊接空洞率 < 5%；針筒錫膏適用于 01005 超微型元件，印刷精度達 ±5μm。通過標準化實驗室與快速響應團隊，公司為客戶提供工藝優(yōu)化建議，幫助降低生產(chǎn)成本，增強市場競爭力。光刻膠的技術挑戰(zhàn)現(xiàn)在就是需要突破難關！

正性光刻膠

半導體分立器件制造：對于二極管、三極管等半導體分立器件，正性光刻膠可實現(xiàn)精細的圖形化加工，滿足不同功能需求。比如在制作高精度的小尺寸分立器件時，正性光刻膠憑借其高分辨率和良好對比度，能精確刻畫器件的結構，提高器件性能。
微機電系統(tǒng)（MEMS）制造：MEMS 器件如加速度計、陀螺儀等，結構復雜且尺寸微小。正性光刻膠用于 MEMS 制造過程中的光刻步驟，可在硅片等材料上制作出高精度的微結構，確保 MEMS 器件的功能實現(xiàn)。

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吉田半導體突破 ArF 光刻膠技術壁壘，國產(chǎn)替代再迎新進展

自主研發(fā) ArF 光刻膠通過中芯國際驗證，吉田半導體填補國內光刻膠空白。
吉田半導體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠，分辨率達 90nm，適用于 14nm 及以上制程，已通過中芯國際量產(chǎn)驗證。該產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與自主配方，突破日本企業(yè)對 ArF 光刻膠的壟斷。其光酸產(chǎn)率提升 30%，蝕刻選擇比達 4:1，性能對標日本信越的 ArF 系列。吉田半導體的技術突破加速了國產(chǎn)芯片制造材料自主化進程，為國內晶圓廠提供高性價比解決方案。

遼寧阻焊光刻膠國產(chǎn)廠家

標簽：錫膏錫片光刻膠

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