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北京先進超快激光玻璃晶圓切割設備價錢

來源: 發布時間:2023-02-24

近年來光電產業的快速發展,高集成度和高性能的半導體晶圓需求不斷增長,硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應用于半導體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高,晶圓趨向于輕薄化,傳統的很多加工方式已經不再適用,于是在部分工序引入了激光隱形切割技術。半導體晶圓的激光隱形切割技術是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產生粉塵、無切割基材耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優勢。隱切切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質層,然后通過外部施加壓力使芯片分開。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備品質保障。北京先進超快激光玻璃晶圓切割設備價錢

超通智能研發了一款超快激光玻璃晶圓切割設備,與傳統的切割設備相比,新型半導體激光隱形晶圓切割機的性能優勢明顯。首先,激光晶圓切割機采用特殊材料、結構設計和運動平臺,可在加工平臺高速運轉時保持穩定性和精細性,轉速和效率較高。其次,激光晶圓切割機采用了合適的波長、總功率、脈寬以及重頻的激光器,克服了激光劃片產生的熔渣污染,顯著提高了切割質量。同時,設備還采用了不同像素尺寸與感光芯片的相機和鏡頭,可實現產品輪廓識別倍數的水平調整。浙江超快激光玻璃晶圓切割設備無錫超快激光玻璃晶圓切割設備廠家直銷優勢。

與YAG和CO2激光通過熱效應來切割不同,紫外激光直接破壞被加工材料的化學鍵,從而達到切割目的,這是一個“冷”過程,熱影響區域小。另外,紫外激光的波長短、能量集中且切縫寬度小,因此在精密切割和微加工領域具有***的應用,目前,激光劃片設備采用工業激光器,波長主要有 1064nm、532nm、355nm 三種,脈寬為ns(納秒)、ps(皮秒)和fs(飛秒)級。理論上,激光波長越短脈寬越短,加工熱效應越小,越有利于微細精密加工,但成本相對較高。

半導體晶圓的激光隱形切割技術是一種全新的激光切割工藝,具有切割速度快、切割不產生粉塵、無耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優勢。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間,在材料中間形成改質層,然后通過外部施加壓力使芯片分開。晶圓切割是先進技術的**,標志著一個國家的先進水平,想要不出現被卡脖子的狀況,唯有發展自己的技術,才能跳出這個泥潭,作為激光行業的**,超通智能針對半導體行業研發的超快激光玻璃晶圓切割設備目前已經廣泛應用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存儲芯片等諸多晶圓的切割領域,為國家的進步做貢獻,實現國產化生產,提升國家競爭力。選擇超快激光玻璃晶圓切割設備的的方法。

劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區域的時間,也就是決定了在某一區域內輸入的劃片功率,因此會直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對劃片槽區域硅材料切割線可以看成是一個又一個光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當的速度可以得到致密、均勻的切割痕跡,速度太快或頻率不足則相鄰兩個切割微圓的圓心較遠,芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質量等劃片的關鍵指標。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備的優勢。北京銷售超快激光玻璃晶圓切割設備訂制價格

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超通智能本著以質量求生存,以用戶效益求發展,的服務理念,完善的質量管理體系、合理的價格,真誠為用戶提供*的服務。激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優點,聚焦點可小到微米數量級,從而對晶圓的微處理具有優越性,可以進行小部件的加工;即使在不高的脈沖能量水平下,也能得到較高的能量密度,有效地進行材料加工。大多數材料吸收激光直接將硅材料氣化,形成溝道。從而實現切割的目的因為光斑點較小,較低限度的炭化影響。北京先進超快激光玻璃晶圓切割設備價錢

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