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山東自動化超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

來源: 發布時間:2023-09-21

超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備配備NCS、刀痕、崩邊及切割道位置檢測功能,還有數據管理、報警記錄和日志管理功能,極大提高了生產效率。此外還有皮秒激光劃片和納秒激光劃片等適用于各類晶圓的處理。超通智能的優勢在于一些新產品的前期應用場景,比如第三代材料,碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等一系列材料,幾乎全部使用激光進行切割。”超通智能將晶圓切割作為切入口,希望今后業務可以覆蓋封裝產品激光類的全部應用,向激光晶圓制造環節上探,提供更***和質量的服務。選擇超快激光玻璃晶圓切割設備應該注意什么?無錫超通智能告訴您。山東自動化超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國內晶圓以 8英寸和 12 英寸為主。激光切割SiC晶圓的方案為激光內部改質切割,其原理為激光在SiC晶圓內部聚焦,在晶圓內部形成改質層后,配合裂片進行晶粒分離。SiC作為寬禁帶半導體,禁帶寬度在3.2eV左右,這也意味著材料表面的對于大部分波長的吸收率很低,使得SiC晶圓與激光內部改質切割擁有較好的相匹配性。山西品質超快激光玻璃晶圓切割設備價錢無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備安心售后。

劃片速度決定了激光聚焦在晶圓上劃片槽某一區域的時間,也就是決定了在某一區域內輸入的劃片功率,因此會直接影響劃片深度和劃片寬度。值得一提的是,激光光斑對劃片槽區域硅材料切割線可以看成是一個又一個光斑切割微圓疊加而成的,較高的頻率和適當的速度可以得到致密、均勻的切割痕跡,速度太快或頻率不足則相鄰兩個切割微圓的圓心較遠,芯片切割邊緣呈巨齒狀,切割質量下降。所以,劃片功率、頻率、速度等參數共同影響了劃片寬度、劃片深度、劃片質量等劃片的關鍵指標。

超通智能研發了一款超快激光玻璃晶圓切割設備,與傳統的切割設備相比,新型半導體激光隱形晶圓切割機的性能優勢明顯。首先,激光晶圓切割機采用特殊材料、結構設計和運動平臺,可在加工平臺高速運轉時保持穩定性和精細性,轉速和效率較高。其次,激光晶圓切割機采用了合適的波長、總功率、脈寬以及重頻的激光器,克服了激光劃片產生的熔渣污染,顯著提高了切割質量。同時,設備還采用了不同像素尺寸與感光芯片的相機和鏡頭,可實現產品輪廓識別倍數的水平調整。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備值得信賴。

迭代升級后的激光晶圓隱形切割設備可自由控制激光聚焦點的深度、可自由控制聚焦點的長度、可自由控制兩個焦點之間的水平間隔,通過采用特殊材料、特殊結構設計、特殊運動平臺,可在500mm/S的高速運動之下,保持高穩定性、高精度切割,激光焦點*為0.5um,切割痕跡更細膩,可以避免對材料表面造成損傷,大幅提升芯片生產制造的質量、效率、效益。這款激光晶圓隱形切割設備可廣泛應用于高能集成電路產品,包括CPU制造、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、內存等領域的制造,對我國實現**國產半導體供應鏈起到了積極的促進作用,有很重要的現實意義。超快激光玻璃晶圓切割設備的價格更優惠。浙江智能超快激光玻璃晶圓切割設備解決方案

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激光劃片在晶圓加工方面具備以下優勢:1.激光劃片采用的高光束質量的光纖激光器,對芯片的電性影響較小,可以提供更高的劃片成品率。2.激光劃片速度為150mm/s。劃片速度較**.激光可以切割厚度較薄的晶圓,可以勝任不同厚度的晶圓劃片。可以切割一些較復雜的晶圓芯片,如六邊形管芯等。4.激光劃片不用去離子水,可24小時連續作業5.激光劃片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圓處理上就具備豐富的經驗,如刀輪切割設備,外觀尺寸小型化,占地面積小,切割行程**功率主軸,高速高精度電機,閉環運動控制,確保生產效率。山東自動化超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍

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