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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-31
采用四導軌導向 + 滾珠絲杠傳動結構，配合阻尼緩沖裝置，升降過程振動幅度≤0.05g。廣東華芯半導體技術有限公司的設備在吊籃底部設置彈性支撐座，進一步吸收機械振動，適合 MEMS 器件等敏感元件的工藝需求。
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