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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-08
采用油霧分離 + 冷凝回收技術，將進入真空泵的甲酸蒸汽含量控制在≤0.1ppm，延長泵油更換周期至 8000 小時（傳統工藝 2000 小時）。廣東華芯半導體技術有限公司的真空泵配備油質傳感器，實時監測污染程度并提醒維護。
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