廣州市元奧儀器有限公司2025-04-05

超透鏡是一種通過(guò)排列亞波長(zhǎng)納米結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的平面透鏡，局部地向入射光傳遞透鏡狀的相移，由于其超薄、輕量化和可定制的特性，在有效載荷的應(yīng)用中有明顯作用，有望其替代折射光學(xué)器件。然而，為厘米級(jí)超透鏡制造高達(dá)數(shù)十億亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的要求可能會(huì)限制大型透鏡的尺寸可擴(kuò)展性和批量生產(chǎn)。我們展示了使用深紫外(DUV)投影步進(jìn)光刻技術(shù)制成的、能夠在可見(jiàn)光波長(zhǎng)下聚焦和成像的、厘米級(jí)尺度的全玻璃制超透鏡。在這里，我們通過(guò)在4英寸的熔融石英晶片平臺(tái)上制造45個(gè)直徑為1厘米的超透鏡，來(lái)展示其尺寸可擴(kuò)展性和大規(guī)模生產(chǎn)的潛力。該透鏡在可見(jiàn)光波長(zhǎng)下的任何均勻偏振入射下均表現(xiàn)出受行射極限限制的聚焦行為。超透鏡的性能通過(guò)斯特列爾比(SR)和調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)進(jìn)行量化，然后將其與尺寸和焦距相似的商用折射球面和非球面單透鏡進(jìn)行比較。我們使用擁有彩色像元的sCMOS相機(jī)和掃描成像技術(shù)進(jìn)一步探究我們的超透鏡的成像能力，表明了這些超透鏡在虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)設(shè)備或生物成像技術(shù)領(lǐng)域的潛在應(yīng)用。 廣州市元奧儀器有限公司專(zhuān)注于sCMOS相機(jī)，歡迎隨時(shí)交流！

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