賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司2025-03-08

臥式爐裝卸料操作通常采用水平方向的進(jìn)出料方式。裝料時(shí)，通過(guò)專(zhuān)門(mén)的裝卸料機(jī)構(gòu)，將半導(dǎo)體晶圓或其他待加工材料放置在水平載具上，再平穩(wěn)推送至爐腔內(nèi)部。卸料時(shí)操作相反，載具從爐腔中水平拉出。整個(gè)過(guò)程需在超潔凈環(huán)境下進(jìn)行，防止灰塵等雜質(zhì)污染晶圓，影響半導(dǎo)體制造工藝質(zhì)量。裝卸料操作的速度與精細(xì)度對(duì)生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量影響明顯，需要嚴(yán)格把控，以確保每次裝卸料都能精確無(wú)誤，避免對(duì)晶圓造成損傷。?

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