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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-29
支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣等多種氣體的單一或混合通入，氣體流量控制精度達 ±1% FS。廣東華芯半導體技術有限公司的設備配備質量流量控制器（MFC）和氣體混配系統，可根據工藝需求實時調整氣體成分，滿足氧化、退火、擴散等多種工藝場景。
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