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來源: 發布時間:2024-08-04

所述u形架的下端通過軸承轉動安裝在后罐體的內部下側,所述u形架的外側固定安裝有刮板,所述刮板的外側與后罐體、前罐體的內表面緊密貼合,所述后罐體和前罐體的上表面外側均勻開設有通孔,所述通孔從上至下向外傾斜,所述通孔的內部固定安裝有噴頭。推薦的,所述驅動裝置包括半圓板,所述前罐體的前表面上側開設有與半圓板匹配的半圓槽,所述半圓板的上表面開設有轉軸通孔,所述半圓板的上表面固定安裝有防護罩和減速電機,所述防護罩罩接在減速電機的外側,所述減速電機的輸出軸轉動安裝在轉軸通孔的內部,所述減速電機輸出軸的下端與u形架固定裝配。推薦的,所述前罐體的下表面后側安裝有集料盒,所述集料盒包括出料口,所述出料口的下側固定安裝有外螺管,所述外螺管的外側螺接有收集盒。推薦的,所述控制箱的內部左側固定安裝有清洗箱和泵,所述清洗箱固定安裝在泵的右側,所述泵通過軟管與噴頭固定裝配。推薦的,所述控制箱、減速電機、泵通過導線電連接,且控制箱與外部電源連接。與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:該磁控濺射真空鍍膜機,能夠通過清理裝置與驅動裝置的配合,對鍍膜機腔體內壁粘黏的靶材和雜質進行自動刮除清理,不需人力手動擦拭。寶來利真空鍍膜機性能穩定,膜層均勻耐磨,鈦鋁,有需要可以咨詢!江蘇汽車車燈真空鍍膜機哪家好

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本實用新型涉及真空設備領域,尤其涉及一種真空反應腔室和真空鍍膜設備。背景技術:目前,真空設備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設備已被廣泛應用于各種產品的生產過程中,如光伏電池、半導體器件等等。真空設備中(如pecvd設備、pvd設備)的寶來利真空反應室通常為單個反應腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設置于該單個反應腔室內,這就造成反應腔室內的工藝環境不夠封閉,容易造成工藝環境污染。另外,設置單個反應腔室時,由于工藝反應區域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術實現要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應腔室,以解決現有真空設備中由于只設置一個反應腔室造成的工藝環境易被污染、工藝原料易被浪費、環境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應腔室的真空鍍膜設備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案如下:一種真空反應腔室,包括:用于提供真空環境的外腔體。硬質涂層真空鍍膜機推薦廠家寶來利光學纖維真空鍍膜機性能穩定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!

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所述頂蓋遠離所述鍍膜機一側設有動觸點;所述第二連接套內側壁上設有靜觸點,所述靜觸點位于所述寶來利真空凹槽與所述抽氣管之間;所述動觸點與外部電源電性連接;所述靜觸點與氣缸電性連接。進一步地,所述鍍膜機靠近所述出氣管的側壁上設有開關及換向器;所述開關分別與所述換向器及所述真空泵電性連接;所述換向器與所述電磁鐵電性連接。進一步地,所述頂蓋側壁上設有凹孔。本實用新型的有益效果在于:通過設置電磁鐵與磁片,在進行鍍膜機內真空抽氣時,按下開關,電磁鐵通電產生與磁鐵相同的磁極,利用磁鐵的原理,配合負壓的作用,打開頂蓋,使得氣體從抽氣管排出,隨后反方向按下開關,電磁鐵在換向器的作用下改變電流方向,磁極改變,與磁片的磁極相反,在彈簧的推動下,頂蓋緊緊蓋在出氣管口上,密封性良好,防止鍍膜機內真空環境發生變化,保證鍍膜過程的正常進行。附圖說明為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明,下面描述中的附圖真空鍍膜設備真空鍍膜設備是本實用新型的部分實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下。

如圖3所示,所述溫控裝置包括溫控管40,所述溫控管40連接位于外腔體10外的恒溫控制器41。溫控管40的引入口及引出口與外部的恒溫控制器41連接,恒溫控制器41可用于恒溫制冷也可用于恒溫加熱,保證內反應腔20中的溫度可以持續恒定,從而使工藝反應區域內的工藝環境溫度更穩定。經過在真空鍍膜設備上的實際應用驗證,該真空腔體對于工藝成膜質量及鍍膜均勻性均有十分有效的改善和提升。其中,溫控管40包括加熱管和/或冷卻管。一般情況下,在工藝反應過程中,通常需要升溫以完成相關的工藝反應,因此,溫控管40包括必要的加熱管,而冷卻管可以根據實際的工藝需要選選擇性地添加即可。例如,若在工藝反應過程中,需要進行快速降溫,此時可以設置冷卻管。所述加熱管非限制性地例如可以為電加熱管、水加熱管或油加熱管。冷卻管例如可以為水冷卻管或油冷卻管。為了增加溫控效果,第二側壁22和第二底板21處均設有溫控管40。其中,所述溫控管40纏繞于所述第二側壁22的外部,且所述溫控管40鋪設于所述第二底板21的底部。除上述纏繞方式外,還可以用埋設的方式鋪設加熱管,例如,所述第二底板21內和所述第二側壁22內均設有用于穿設溫控管40的通道,所述溫控管40埋設于所述通道內。寶來利真空鍍膜機性能穩定,膜層均勻耐磨,AR反射膜,有需要可以咨詢!

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因此可以有效減少工藝原料的浪費,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同時,由于工藝反應區的減少,可以有效控制該區域內的溫度,使該區域內的工藝溫度更易于均勻化,進而提高工藝質量。附圖說明此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分,示出了符合本實用新型的實施例,并與說明書一起用于解釋本實用新型的原理。為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,對于本領域普通技術人員而言,在不付出創造性勞動性的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型一種實施方式的真空反應腔室的結構示意圖;圖2為圖1所示結構中的剖視結構示意圖;圖3為設置于第二底板底部的溫控管的結構示意圖。圖標:10-外腔體;11-寶來利真空底板;12-寶來利真空側壁;13-傳送裝置;20-內反應腔;21-第二底板;22-第二側壁;23-自動門;30-密封蓋板;40-溫控管;41-恒溫控制器。具體實施方式為使本實用新型實施例的目的、技術方案和***更加清楚,下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然。寶來利真空鍍膜機性能穩定,膜層均勻耐磨,衛浴潔具鍍膜,有需要可以咨詢!硬質涂層真空鍍膜機推薦廠家

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電磁鐵122頂出磁片223,頂蓋22離開出氣管11口,空氣及粉塵從出氣管11排出,當頂蓋22的動觸點224與靜觸點123接觸時,氣缸53通電,伸出伸縮軸,利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出,粉塵遇水沉降落入沉降管51底部,鍍膜機1內達到相應的真空度時,反方向按下開關13,電磁鐵122在換向器的作用下電流改變,磁極改變,產生與磁片223相反的磁極,電磁鐵122與磁片223相吸,此時真空泵4斷電,動、靜觸點斷開,氣缸53斷電,頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實施例中,開關13為雙向開關,往一方向按下時,真空泵4與電磁鐵122均通電,往另一方向按下時,真空泵4斷電,電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發生改變,產生相反的磁極。在進一步的實施例中,結合圖2可得,寶來利真空連接套12遠離鍍膜機1一側設有寶來利真空安裝位121;寶來利真空安裝位121位于出氣管11兩側;寶來利真空安裝位121內固定有電磁鐵122;頂蓋22靠近鍍膜機1一側設有第二安裝位222;第二安裝位222與寶來利真空安裝位121位置相對應;第二安裝位222內固定有磁片223;電磁鐵122與磁片223分別通過膠水固定在寶來利真空安裝位121以及第二安裝位222中;利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理,控制頂蓋22的關閉和打開。江蘇汽車車燈真空鍍膜機哪家好

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