通常，按加工精度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm，公差等級在IT5以上的加工技術。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念，其間的界限將隨著加工技術的進步不斷變化，現在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，變成平滑表面看似現代科技的超精密加工，其實在上個世紀早已出現超精密加工的發展經歷了如下三個階段：（1）20世紀50年代至80年代為技術開創期出于航天、大規模集成電路、激光等技術發展的需要，美國率先發展了超精密加工技術，開發了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。（2）20世紀80年代至90年代為民間工業應用初期在相關機構的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公司開始超精密加工設備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學等也陸續推出產品，并開始用于民間工業光學組件的制造。但當時的超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以特殊機的形式訂作。激光超精密加工打孔在PCB行業應用廣，激光在PCB上不僅加工速度快，能打2μm以下的小孔微孔及隱形孔的鉆孔。超快超精密噴嘴

超精密加工技術在多個領域具有廣泛的應用場景，以下是其主要的應用領域：1.光學和光電子學領域·精密光學元件制造：用于制造照相機鏡頭、透鏡、天文望遠鏡等精密光學元件。超精密加工技術能夠明顯提升光學元件的表面質量和精度，從而提高成像質量和光學性能。·光電器件制造：在光電子學領域，超精密加工技術還用于制造控制光電器件，如激光微加工和激光雕刻等，滿足高精度、高復雜度的加工需求。2.航空航天工業·發動機零部件制造：超精密加工技術能夠制造出發動機的精密零部件，如渦輪葉片、軸承等，這些零部件需要極高的精度和表面質量以保證發動機的性能和壽命。·航空結構件：在航空器的制造過程中，超精密加工技術也用于制造各種結構件，如機身、機翼等，確保航空器的整體性能和安全性。3.生物醫學領域·人造植入物制造：如人工關節、骨板等，超精密加工技術能夠制造出高精度、高生物相容性的植入物，提高患者的康復效果和生活質量。·醫療器械制造：在醫療器械的制造過程中，超精密加工技術也發揮著重要作用，如制造高精度的手術器械、診斷設備等。高效超精密MLCC垂直刀片當精密加工已無法達到更好的形狀精度、表面粗糙度與尺寸精度時，就會需要使用到超精密加工的技術。

精密磨削技術-電解在線砂輪修整技術(ELID)對于精密零件的加工生產，精密磨削技術是必不可少的。在半導體/LCD、MLCC和新能源電池等領域中，精密元件的使用率很高。常見的磨削技術的問題是，必須根據磨削后的弓形磨損量繼續修整，這給保持同等質量帶來了困難，因為表面狀況會發生細微變化。簡而言之，ELID磨削技術是一種在不斷修整的同時進行拋光的技術。微泰采用了高精度的磨削技術，這些技術都以ELID技術和專有技術為基礎，在這種技術中，我們生產的產品具有高精度、平坦度和高質量，這是很難生產的。真空板ELID磨削技術ELID磨削技術（真空板）。利用電解在線砂輪修整技術(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，減少研磨時的毛刺，減少手動調節提高作業自動化。400mm見方的真空板平面度可達5um。

通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機械摩擦，使工件達到所要求的尺寸與精度的加工方法。對于金屬和非金屬工件都可以達到其他加工方法所不能達到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質層很小，表面質量高。精密研磨的設備簡單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min，濕研速度為20 - 120m/min），對加工環境要求嚴格，如有大磨料或異物混入時，將使表面產生很難去除的劃傷。拋光是利用機械、化學、電化學的方法對工件表面進行的一種微細加工，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機械拋光、超聲波拋光、化學拋光、電化學拋光及電化學機械復合加工等。手工或機械拋光是用涂有磨膏的拋光器，在一定的壓力下，與工件表面做相對運動，以實現對工件表面的光整加工，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動，通過磨料懸浮液對硬脆材料進行光整加工。超精密飛秒激光技術是一種高精度、非接觸、非熱效應的加工方法，適用于各種材料的微細加工。

超精密加工技術，是現代機械制造業主要的發展方向之一。在提高機電產品的性能、質量和發展高新技術中起著至關重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關鍵技術。超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。加之測量技術、環境保障和材料等問題，人們把這種技術總稱為超精工程。激光的應用已從大尺寸的粗糙加工，慢慢擴展到小尺寸、高精度的領域。進口超精密半導體流量閥

超精密加工中的微細加工技術是指制造微小尺寸零件的加工技術。超快超精密噴嘴

超精密加工是指在微米級或納米級尺度上進行的加工技術，它能夠制造出具有極高精度和表面質量的零件。這種加工技術廣泛應用于半導體制造、光學元件、醫療器械、航空航天等領域。超精密加工技術包括超精密車削、磨削、銑削、拋光等工藝，這些工藝要求使用高精度的機床設備、高質量的刀具材料以及精細的加工參數控制。隨著科技的進步，超精密加工技術正向著更高的精度、更復雜的形狀和更廣泛的應用領域發展。超精密技術是指在制造和測量過程中達到極高的精度和精確度。這種技術廣泛應用于半導體制造、精密工程、航空航天、醫療設備等領域。超精密加工技術能夠實現微米甚至納米級別的加工精度，而超精密測量技術則能夠檢測出極微小的尺寸變化和形狀誤差。隨著科技的發展，超精密技術在提高產品質量、性能和可靠性方面發揮著越來越重要的作用。超快超精密噴嘴