通常，按加工精度劃分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm，公差等級(jí)在IT5以上的加工技術(shù)。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對(duì)概念，其間的界限將隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化，現(xiàn)在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字樣被緩慢地往下壓進(jìn)底部，變成平滑表面看似現(xiàn)代科技的超精密加工，其實(shí)在上個(gè)世紀(jì)早已出現(xiàn)超精密加工的發(fā)展經(jīng)歷了如下三個(gè)階段：（1）20世紀(jì)50年代至80年代為技術(shù)開(kāi)創(chuàng)期出于航天、大規(guī)模集成電路、激光等技術(shù)發(fā)展的需要，美國(guó)率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開(kāi)發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技術(shù)，又稱為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。（2）20世紀(jì)80年代至90年代為民間工業(yè)應(yīng)用初期在相關(guān)機(jī)構(gòu)的支持下，美國(guó)的摩爾公司、普瑞泰克公司開(kāi)始超精密加工設(shè)備的商品化，而日本的東芝和日立以及歐洲Cranfield大學(xué)等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，并開(kāi)始用于民間工業(yè)光學(xué)組件的制造。但當(dāng)時(shí)的超精密加工設(shè)備依然高貴而稀少，主要以特殊機(jī)的形式訂作。超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸、非熱效應(yīng)的加工方法，適用于各種材料的微細(xì)加工。韓國(guó)技術(shù)超精密刀具制造

精度高、表面質(zhì)量好、加工效率高、材料利用率高、能夠加工復(fù)雜形狀的零件。超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米級(jí)甚至納米級(jí)的制造技術(shù)，主要包括超精密車削、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法。這些方法能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硬脆材料、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學(xué)元件、微型機(jī)械、生物醫(yī)療器件等領(lǐng)域。常見(jiàn)的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進(jìn)行加工，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)非球面和自由曲面的高精度加工。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具，適用于加工硬質(zhì)合金、陶瓷等高硬度材料。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具，適用于復(fù)雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學(xué)加工：通過(guò)電解作用去除材料，適用于加工微細(xì)、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的零件。超精密加工技術(shù)的發(fā)展對(duì)提高我國(guó)制造業(yè)的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義。納米級(jí)超精密半導(dǎo)體零件超精密加工被定義為對(duì)細(xì)節(jié)的要求格外費(fèi)心的工業(yè)技術(shù)，且需要掌握各種各樣的知識(shí)，才能準(zhǔn)確操作。

專門從事 K 半導(dǎo)體材料和零件!  微泰，專業(yè)制造半導(dǎo)體設(shè)備中的精密元件，包括半導(dǎo)體晶圓真空卡盤、半導(dǎo)體孔卡盤和半導(dǎo)體流量計(jì)，并在自己的研發(fā)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室?guī)椭岣弋a(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)開(kāi)發(fā)。 積極參與公司和國(guó)家研究支持項(xiàng)目，幫助實(shí)現(xiàn)零件本地化，并建立了系統(tǒng)的質(zhì)量控制和檢測(cè)系統(tǒng)，以及戰(zhàn)略性集成的制造基礎(chǔ)設(shè)施。我們?yōu)榭蛻艨焖偬峁┢焚|(zhì)好、有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。與零件和設(shè)備制造商建立了有機(jī)合作關(guān)系，從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的早期階段開(kāi)始，通過(guò)共同參與縮短了工藝流程，生產(chǎn)出具有高耐用性和高穩(wěn)定性的產(chǎn)品。美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)是世界上的半導(dǎo)體市場(chǎng)。 出口到跨國(guó)公司，包括排名前位的公司。 從而以優(yōu)化的成本降低了生產(chǎn)成本，在零件設(shè)計(jì)、直接加工和裝配過(guò)程中提高了質(zhì)量。持續(xù)發(fā)展客戶所需的半導(dǎo)體精密元件的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)能力，微泰，為客戶成功做出貢獻(xiàn)。我們將盡極大努力創(chuàng)造新的商業(yè)機(jī)會(huì)。精密制造技術(shù)、客戶滿意的產(chǎn)品和創(chuàng)新的未來(lái)價(jià)值。

高精度、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題。總的來(lái)說(shuō)，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以失去加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無(wú)法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。超精密激光切割的切縫小、變形小、切割面光滑、平整、美觀，無(wú)須后序處理。

精密、超精密加工技術(shù)是提高機(jī)電產(chǎn)品性能、質(zhì)量、工作壽命和可靠性，以及節(jié)材節(jié)能的重要途徑。如：提高汽缸和活塞的加工精度，就可提高汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的效率和馬力，減少油耗；提高滾動(dòng)軸承的滾動(dòng)體和滾道的加工精度，就可提高軸承的轉(zhuǎn)速，減少振動(dòng)和噪聲；提高磁盤加工的平面度，從而減少它與磁頭間的間隙，就可提高磁盤的存儲(chǔ)量；提高半導(dǎo)體器件的刻線精度（減少線寬，增加密度）就可提高微電子芯片的集成度。工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家的一般工廠已能穩(wěn)定掌握3 μm的加工精度（我國(guó)為5 μm）。同此，通常稱低于此值的加工為普通精度加工，而高于此值的加工則稱之為高精度加工。對(duì)于大件產(chǎn)品的加工，大件產(chǎn)品的模具制造費(fèi)用很高，激光超精密加工不需任何模具制造。代工超精密MLCC輪刀

超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。韓國(guó)技術(shù)超精密刀具制造

超精密加工技術(shù)的特點(diǎn)及其應(yīng)用超精密加工目前尚沒(méi)有統(tǒng)一的定義，在不同的歷史時(shí)期，不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達(dá)到零點(diǎn)幾微米，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù)。超精密加工的重要手段包括①超精密切削，如超精密金剛石刀具鏡面車削、銷削和銑削等;②超精密磨削、研磨和拋光;③超精密微細(xì)加工(電子束、離子束、激光束加工以及微硅器件的加工、LIGA技術(shù)等)。韓國(guó)技術(shù)超精密刀具制造